公开(公告)号：CN103980417A

公开(公告)日：2014-08-13

申请号：CN201410168349.6

申请日：2014-04-24

Applicant: 东南大学

Inventor： 郭玲香 ,  管婧 ,  张玉虎 ,  杨洪 ,  林保平

IPC: C08F220/36 ,  C08F220/18 ,  C08F2/38 ,  G03F7/039 ,  G03F7/00

Abstract: 本发明提供了一种新型树枝状聚合物类正性光刻胶树脂，其结构式如式(I)所示。本发明还提供了上述新型树枝状聚合物类正性光刻胶树脂的制备方法。本发明还提供了上述新型树枝状聚合物类正性光刻胶树脂在光刻技术中的应用。该树脂制备工艺简单，不需要添加任何感光剂、产酸剂等助剂即可直接应用于光刻工艺中，得到的图像分辨率高、清晰度好。与传统的光刻胶树脂相比，该树脂具有粘度低、与基材粘附力好、成膜性好、固化膜收缩率小、光刻灵敏度高等特点，因此该树脂能够满足其作为光致抗蚀剂的要求。

公开(公告)号：CN103980417B

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201410168349.6

申请日：2014-04-24

Applicant: 东南大学

Inventor： 郭玲香 ,  管婧 ,  张玉虎 ,  杨洪 ,  林保平

IPC: C08F220/36 ,  C08F220/18 ,  C08F2/38 ,  G03F7/039 ,  G03F7/00

Abstract: 本发明提供了一种树枝状聚合物类正性光刻胶树脂，其结构式如式(I)所示。本发明还提供了上述树枝状聚合物类正性光刻胶树脂的制备方法。本发明还提供了上述树枝状聚合物类正性光刻胶树脂在光刻技术中的应用。该树脂制备工艺简单，不需要添加任何感光剂、产酸剂等助剂即可直接应用于光刻工艺中，得到的图像分辨率高、清晰度好。与传统的光刻胶树脂相比，该树脂具有粘度低、与基材粘附力好、成膜性好、固化膜收缩率小、光刻灵敏度高等特点，因此该树脂能够满足其作为光致抗蚀剂的要求。