一种多量程的热式气体流量传感器

    公开(公告)号:CN114838775A

    公开(公告)日:2022-08-02

    申请号:CN202210534963.4

    申请日:2022-05-17

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种多量程的热式气体流量传感器结构的设计以及信号处理方法。包括带背部刻蚀空腔的单晶硅衬底、悬浮支撑膜、中心加热器、上游测量热敏元件组、下游测量热敏元件组和信号处理电路。上游测量热敏元件组和下游测量热敏元件组对称的放置在中心加热器两端,上游测量热敏元件包括上游第一测量元件和上游第二测量元件,下游测量热敏元件包括下游第一测量元件和下游第二测量元件,中心加热器和所有测量元件的热端放置在的悬浮支撑膜之上,测量元件的冷端放在悬浮支撑膜之外。本发明通过在单晶硅衬底上制备不同长度的测量元件,形成具有多量程检测功能的流量传感器,并且进一步的搭配外围控制电路,完成单芯片量程的切换。

Patent Agency Ranking