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发明公开
一种基于高品质微球腔的白光Micro-LED的制备方法无效

公开(公告)号：CN114335266A

公开(公告)日：2022-04-12

申请号：CN202210105868.2

申请日：2022-01-27

Applicant: 东南大学

Inventor： 徐春祥 , 王潇璇 , 石增良 , 李竹新 , 熊子豪 , 朱泓锦 , 翟天齐 , 宋世诚

IPC: H01L33/00 , H01L33/28

Abstract: 本发明公开了一种基于高品质微球腔的白光Micro‑LED的制备方法。包括(1)将p‑GaN衬底清洗后，使用无痕耐高温胶带作掩膜预留正电极位；(2)激光经过透镜聚焦在靶材上在p‑GaN衬底上制备Ho掺杂的ZnO微米球；(3)旋涂PMMA，并采用氧等离子体刻蚀；(4)通过金属掩膜版，沉积Au电极。本发明制备掺杂ZnO微球的方法为无模板制备的方法，比现在常用的模板化学和成法省去了模板的制备过程，方法简单易操作，并且样品杂质少、结晶性高。制备的Micro‑LED通过简单的驱动方式控制实现蓝紫光、蓝绿光甚至白光发射。

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