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公开(公告)号：CN103100539A
公开(公告)日：2013-05-15
申请号：CN201310038460.9
申请日：2013-01-31
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种对光学原件表面污染物进行清理的装置及方法，该装置包括真空腔体（5）、设于真空腔体（5）内部的闪光灯光源（1）、气体吹扫头（3）、光学元件（4）、设于真空腔体（5）外部的闪光灯电源（2）、真空机组（6）；闪光灯电源（2）通过穿过真空腔体（5）的电极引线（7）与闪光灯光源（1）相连并为其提供工作电压；闪光灯光源（1）放在需要进行污染物清理的光学元件（4）的内部表面附近，使其工作时发出的光线（10）作用到光学元件（4）需要清理的表面。本发明具备快速进行光学元件表面、真空腔体内表面、材料表面吸附物、污染物的清除，系统结构简单易操作。
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公开(公告)号：CN103111441A
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN201310049043.4
申请日：2013-02-07
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种对洁净材料表面局部污染物进行清理的装置和方法。该装置包括真空腔体（5），放置于真空腔体（5）内的洁净材料（9）、与洁净材料（9）相距一定距离的移动平台（4）；移动平台（4）与洁净材料（9）相对的一面设有用于传输激光的光纤探头（1）、用于材料表面观察的光学显微探头（2）、气体吹扫头（3）；放置在真空腔体（5）外部的真空机组（6）和激光光源（7），其中，真空机组（6）用于对真空腔体（5）抽真空，激光光源（7）通过光纤（8）传输到光纤探头（1）。具备快速进行洁净材料表面局部污染物的发现、清除，系统结构简单易操作。
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公开(公告)号：CN104139893A
公开(公告)日：2014-11-12
申请号：CN201410332451.5
申请日：2014-07-11
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种超洁净真空部件包装储存方法，对超洁净真空系统内部的真空部件在清洗后，采用金属转移工具进行空间转移，采用金属盒盒体作为真空部件储存的容器，戴手套用金属箔隔离情况取出和安装真空部件减少超洁净真空部件在清洗、包装、储存和运输过程中接触有机污染物，避免有机污染物对超洁净真空的污染。
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公开(公告)号：CN102147363A
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN201110003696.X
申请日：2011-01-10
Applicant: 东南大学
Abstract: 对材料表面清洁度进行检测的装置包括一带有激光光窗（2）的采样器（1）、密封机构（3）、激光器（4）、真空计（5）、气体成分分析器（6）和真空系统（7）；该方法将被分析样品（8）通过密封机构（3）与采样器连接在一起，采用真空系统（7）对整个检测装置抽真空到气体成分分析器可工作的状态，用真空计（5）记录检测装置内的压强；将激光器（4）产生的激光通过激光光窗（2）照射到被检测样品（8）的表面，使样品表面的材料蒸发到采样器空间，并由气体成分分析器（6）进行检测，气体成分表示材料表面吸附或污染物的成分；通过调整激光器的功率、作用时间和束斑大小，可以对不同材料的进行分析，真空计的压强的高低反应蒸发物的多少，代表材料表面清洁度高低。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104139893B
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201410332451.5
申请日：2014-07-11
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种超洁净真空部件包装储存方法，对超洁净真空系统内部的真空部件在清洗后，采用金属转移工具进行空间转移，采用金属盒盒体作为真空部件储存的容器，戴手套用金属箔隔离情况取出和安装真空部件减少超洁净真空部件在清洗、包装、储存和运输过程中接触有机污染物，避免有机污染物对超洁净真空的污染。
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公开(公告)号：CN103111441B
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201310049043.4
申请日：2013-02-07
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种对洁净材料表面局部污染物进行清理的装置和方法。该装置包括真空腔体（5），放置于真空腔体（5）内的洁净材料（9）、与洁净材料（9）相距一定距离的移动平台（4）；移动平台（4）与洁净材料（9）相对的一面设有用于传输激光的光纤探头（1）、用于材料表面观察的光学显微探头（2）、气体吹扫头（3）；放置在真空腔体（5）外部的真空机组（6）和激光光源（7），其中，真空机组（6）用于对真空腔体（5）抽真空，激光光源（7）通过光纤（8）传输到光纤探头（1）。具备快速进行洁净材料表面局部污染物的发现、清除，系统结构简单易操作。
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公开(公告)号：CN102147363B
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201110003696.X
申请日：2011-01-10
Applicant: 东南大学
Abstract: 对材料表面清洁度进行检测的装置包括一带有激光光窗（2）的采样器（1）、密封机构（3）、激光器（4）、真空计（5）、气体成分分析器（6）和真空系统（7）；该方法将被分析样品（8）通过密封机构（3）与采样器连接在一起，采用真空系统（7）对整个检测装置抽真空到气体成分分析器可工作的状态，用真空计（5）记录检测装置内的压强；将激光器（4）产生的激光通过激光光窗（2）照射到被检测样品（8）的表面，使样品表面的材料蒸发到采样器空间，并由气体成分分析器（6）进行检测，气体成分表示材料表面吸附或污染物的成分；通过调整激光器的功率、作用时间和束斑大小，可以对不同材料的进行分析，真空计的压强的高低反应蒸发物的多少，代表材料表面清洁度高低。
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公开(公告)号：CN103100539B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201310038460.9
申请日：2013-01-31
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种对光学原件表面污染物进行清理的装置及方法，该装置包括真空腔体（5）、设于真空腔体（5）内部的闪光灯光源（1）、气体吹扫头（3）、光学元件（4）、设于真空腔体（5）外部的闪光灯电源（2）、真空机组（6）；闪光灯电源（2）通过穿过真空腔体（5）的电极引线（7）与闪光灯光源（1）相连并为其提供工作电压；闪光灯光源（1）放在需要进行污染物清理的光学元件（4）的内部表面附近，使其工作时发出的光线（10）作用到光学元件（4）需要清理的表面。本发明具备快速进行光学元件表面、真空腔体内表面、材料表面吸附物、污染物的清除，系统结构简单易操作。
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