一种超宽量程风速仪及制造方法

    公开(公告)号:CN109164270A

    公开(公告)日:2019-01-08

    申请号:CN201810645381.7

    申请日:2018-06-21

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明涉及一种超宽量程风速仪,包括底座(1)、感风平台(2)、弹性支撑柱(3)、隔热板(4)、加热元件(5)、四个测温元件(61)、四根刚性支撑柱(71)、四块矩形平面下电极(81)和四个电极组,基于上述硬件进行组合,构建超宽量程风速仪,并与之相应提出针对所设计超宽量程风速仪的制造方法,具有如下优点:1)在低风速下具有极高的精度;2)可在高风速下精确测量风速风向数据;3)在中等风速下,两组测量原理获得风速可进行相互验证和校准,进一步提高传感器的精度;4)两组原理所获测风数据可以用于传感器的自检,实现传感器好坏的自动判断;5)感风平台(2)的倒扣杯形设计可以有效阻挡灰尘和雨水等影响电容敏感元件。

    一种超宽量程风速仪及制造方法

    公开(公告)号:CN109164270B

    公开(公告)日:2020-01-17

    申请号:CN201810645381.7

    申请日:2018-06-21

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明涉及一种超宽量程风速仪,包括底座(1)、感风平台(2)、弹性支撑柱(3)、隔热板(4)、加热元件(5)、四个测温元件(61)、四根刚性支撑柱(71)、四块矩形平面下电极(81)和四个电极组,基于上述硬件进行组合,构建超宽量程风速仪,并与之相应提出针对所设计超宽量程风速仪的制造方法,具有如下优点:1)在低风速下具有极高的精度;2)可在高风速下精确测量风速风向数据;3)在中等风速下,两组测量原理获得风速可进行相互验证和校准,进一步提高传感器的精度;4)两组原理所获测风数据可以用于传感器的自检,实现传感器好坏的自动判断;5)感风平台(2)的倒扣杯形设计可以有效阻挡灰尘和雨水等影响电容敏感元件。

    一种宽量程风速传感器及其制作方法

    公开(公告)号:CN109001486A

    公开(公告)日:2018-12-14

    申请号:CN201810645379.X

    申请日:2018-06-21

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明涉及一种宽量程风速传感器及其制作方法,包括衬底(1)、弹性薄膜(2)、加热元件(5)、凸起台面(6)、隔热层(7)、四个压力传感器(31)和四个温度传感器(41);基于本发明的设计方案,针对上述硬件进行组合,构成宽量程风速传感器;与之对应,本发明还设计了针对宽量程风速传感器的其制作方法;如此整个技术方案,采用热式传感器原理,可低风速下精确测量风速风向数据;并且采用压阻效应,可高风速下精确测量风速风向数据;而且采用体硅微机械加工技术,工艺可靠,批量制作容易且成本低;不仅如此,还采用二维对称结构,温漂小。

    一种宽量程风速传感器及其制作方法

    公开(公告)号:CN109001486B

    公开(公告)日:2020-03-31

    申请号:CN201810645379.X

    申请日:2018-06-21

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明涉及一种宽量程风速传感器及其制作方法,包括衬底(1)、弹性薄膜(2)、加热元件(5)、凸起台面(6)、隔热层(7)、四个压力传感器(31)和四个温度传感器(41);基于本发明的设计方案,针对上述硬件进行组合,构成宽量程风速传感器;与之对应,本发明还设计了针对宽量程风速传感器的其制作方法;如此整个技术方案,采用热式传感器原理,可低风速下精确测量风速风向数据;并且采用压阻效应,可高风速下精确测量风速风向数据;而且采用体硅微机械加工技术,工艺可靠,批量制作容易且成本低;不仅如此,还采用二维对称结构,温漂小。

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