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公开(公告)号：CN109633204A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201811464465.7
申请日：2018-12-03
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开一种低温漂的混合表面等离激元加速度计，包括可调谐等离激元定向耦合器、柔性表面等离激元波导和位于柔性表面等离激元波导表面的加速度质量块，可调谐等离激元定向耦合器包括上支等离激元波导、用于输入输出光学信号的下支等离激元波导、以及设置于下支等离激元波导上的调制电极，上支等离激元波导两端与弯曲后的柔性表面等离激元波导两端分别连接、构成表面等离激元波导环形谐振腔，该环形谐振环与可调谐等离激元定向耦合器所在平面垂直。利用二氧化硅基可调谐表面等离激元定向耦合器和柔性表面等离激元波导相反的热光特性可有效抑制谐振腔谐振频率的温度波动性，且在最佳匹配条件下，有望实现谐振频率的零温漂。
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公开(公告)号：CN109613632A
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201811464254.3
申请日：2018-12-03
Applicant: 东南大学
CPC classification number: G02B5/008 , G02B6/1226
Abstract: 本发明公开一种基于柔性表面等离激元耦合器的可调谐振腔及其制备方法，该可调环形谐振腔包括由上支柔性波导和下支柔性波导组成的可调谐柔性表面等离激元耦合器，其包括柔性表面等离激元定向耦合器，位于下支柔性波导上用于传导光信号的第一柔性等离激元波导和第二柔性等离激元波导，以及由上支柔性波导两端耦合对接形成的柔性表面等离激元谐振环；该谐振环的环形面与下支柔性波导所在平面垂直。制备方法为：制备可调谐柔性表面等离激元耦合器；将上支柔性波导和下支柔性波导的左右两端分离至柔性表面等离激元定向耦合器处；将上支柔性波导两端卷曲对接、形成三维立体柔性表面等离激元谐振环，即得。该谐振腔可降低弯曲损耗，提高Q值。
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公开(公告)号：CN109633204B
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201811464465.7
申请日：2018-12-03
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开一种低温漂的混合表面等离激元加速度计，包括可调谐等离激元定向耦合器、柔性表面等离激元波导和位于柔性表面等离激元波导表面的加速度质量块，可调谐等离激元定向耦合器包括上支等离激元波导、用于输入输出光学信号的下支等离激元波导、以及设置于下支等离激元波导上的调制电极，上支等离激元波导两端与弯曲后的柔性表面等离激元波导两端分别连接、构成表面等离激元波导环形谐振腔，该表面等离激元波导环形谐振腔与可调谐等离激元定向耦合器所在平面垂直。利用二氧化硅基可调谐表面等离激元定向耦合器和柔性表面等离激元波导相反的热光特性可有效抑制谐振腔谐振频率的温度波动性，且在最佳匹配条件下，有望实现谐振频率的零温漂。
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公开(公告)号：CN109613632B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201811464254.3
申请日：2018-12-03
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开一种基于柔性表面等离激元耦合器的可调谐振腔及其制备方法，该可调环形谐振腔包括由上支柔性波导和下支柔性波导组成的可调谐柔性表面等离激元耦合器，其包括柔性表面等离激元定向耦合器，位于下支柔性波导上用于传导光信号的第一柔性等离激元波导和第二柔性等离激元波导，以及由上支柔性波导两端耦合对接形成的柔性表面等离激元谐振环；该谐振环的环形面与下支柔性波导所在平面垂直。制备方法为：制备可调谐柔性表面等离激元耦合器；将上支柔性波导和下支柔性波导的左右两端分离至柔性表面等离激元定向耦合器处；将上支柔性波导两端卷曲对接、形成三维立体柔性表面等离激元谐振环，即得。该谐振腔可降低弯曲损耗，提高Q值。
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