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公开(公告)号：CN117140642A
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202311215884.8
申请日：2023-09-19
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明一种在薄膜芯片上孔径可控的纳米孔简易制孔扩孔装置及方法，装置包括液池一、液池二、液池三、直流电压模块、夹具、标准纳米孔芯片和待加工薄膜芯片；液池一与液池二之间夹有标准纳米孔芯片夹板，液池二与液池三之间装有待加工薄膜芯片，液池一、液池二与液池三通过螺钉固定在夹具上，直流电压模块输出恒定电压；本发明无需使用计算机系统和数字源表监测电流反馈控制偏置电压，利用恒定直流电压模块可实现纳米孔的可控制造。只需选定直流电压值和标准纳米孔芯片，设定制造时间后即可在待加工薄膜芯片上稳定制造出不同孔径的纳米孔，且不需要实验人员通过电流反馈确认纳米孔尺寸，降低了控制击穿制孔方法的实验成本和难度。
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