公开(公告)号：CN119437058A

公开(公告)日：2025-02-14

申请号：CN202411826467.1

申请日：2024-12-12

Applicant: 东南大学

Inventor： 崔乾楠 ,  侯飞杨 ,  徐春祥

IPC: G01B11/06

Abstract: 本发明公开了一种基于超快光声光谱的非透明薄膜厚度测量方法及系统，包括：(1)在非透明薄膜上叠加二维半导体薄膜；基于飞秒激光泵浦探测技术，产生具有不同时间延迟的泵浦光和探测光，并将不同时间延迟的泵浦光和探测光聚焦于二维半导体薄膜表面，探测二维半导体薄膜表面反射的时间分辨超快光声光谱；对所述时间分辨超快光声光谱进行去背景处理，得到不同时间延迟下的皮秒声波脉冲回波信号；提取皮秒声波脉冲回波信号中回波时刻对应的时间延迟t，并结合非透明薄膜中声波传输速度v，按照公式d＝vt/2计算得到非透明薄膜的厚度d。本发明有高空间分辨、快速、无损的技术优势。

公开(公告)号：CN119470282A

公开(公告)日：2025-02-18

申请号：CN202411826465.2

申请日：2024-12-12

Applicant: 东南大学

Inventor： 崔乾楠 ,  侯飞杨 ,  徐春祥

IPC: G01N21/17 ,  G01N21/25 ,  G01N21/88 ,  G01N21/95 ,  G01N25/20 ,  G01N25/00 ,  G01N25/12 ,  G01N25/16 ,  G01K11/322

Abstract: 本发明公开了一种基于超快光声光谱的热敏感材料玻璃化转变温度测量方法及系统，方法包括：制备二维半导体薄膜和热敏感材料薄膜叠加的异质结构；基于飞秒激光泵浦探测技术，将不同时间延迟的泵浦激光脉冲和探测激光脉冲聚焦于二维半导体薄膜表面，探测时间分辨超快光声光谱；通过加热异质结构得到不同温度下的时间分辨超快光声光谱；对时间分辨超快光声光谱进行数据处理，提取不同温度下布里渊振荡信号的中心频率，并拟合得到中心频率‑温度关系曲线；提取中心频率‑温度关系曲线中的拐点，将拐点所在温度作为热敏感材料薄膜对应热敏感材料的玻璃化转变温度。本发明灵敏度高、准确性高、可以无损检测。