公开(公告)号：CN113853513B

公开(公告)日：2024-12-24

申请号：CN202080037185.7

申请日：2020-05-19

Applicant: 东华隆株式会社

Inventor： 川村隆太郎 ,  田口研良

IPC: G01K7/18 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明的温度调节单元(1)包括：温度调节单元本体(2)；温度调节部(3)，其设置在温度调节单元本体(2)的内部，对温度调节对象(100)所在侧的该温度调节单元本体(2)的表面温度进行升降温；以及薄膜测温电阻部(4)，其形成在温度调节单元本体(2)的内部、温度调节对象(100)所在侧的面内的一定范围内，并且设置在比温度调节部(3)更靠近温度调节对象(100)的一侧，由热喷涂皮膜形成。该温度调节单元可以准确地测定温度调节面内的平均温度。

公开(公告)号：CN113853513A

公开(公告)日：2021-12-28

申请号：CN202080037185.7

申请日：2020-05-19

Applicant: 东华隆株式会社

Inventor： 川村隆太郎 ,  田口研良

IPC: G01K7/18 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明的温度调节单元(1)包括：温度调节单元本体(2)；温度调节部(3)，其设置在温度调节单元本体(2)的内部，对温度调节对象(100)所在侧的该温度调节单元本体(2)的表面温度进行升降温；以及薄膜测温电阻部(4)，其形成在温度调节单元本体(2)的内部、温度调节对象(100)所在侧的面内的一定范围内，并且设置在比温度调节部(3)更靠近温度调节对象(100)的一侧，由热喷涂皮膜形成。该温度调节单元可以准确地测定温度调节面内的平均温度。

公开(公告)号：CN111357096A

公开(公告)日：2020-06-30

申请号：CN201880074361.7

申请日：2018-10-29

Applicant: 东华隆株式会社

Inventor： 虻川志向 ,  田口研良 ,  浅木森游 ,  川村隆太郎

IPC: H01L21/683 ,  H05B3/02 ,  H05B3/20 ,  H05B3/72

Abstract: 本发明提供一种能够提高加热器区域内的温度均匀性、并且可以维持耐久性的发热部件。发热部件(1)包括基材部(2)、以及设置在该基材部(2)的外部且通过供电而发热的薄膜加热器(4)。薄膜加热器(4)由热喷涂皮膜形成。薄膜加热器(4)具有配设在基材部(2)的第一端面(2a)上的加热器本体(10)、以及从加热器本体(10)通过基材部(2)的侧面(2c)延设至基材部(2)的第二端面的加热器延设部(11)，加热器延设部(11)的前端部分(11s)是向加热器本体(10)供电的加热器供电部(12)。