公开(公告)号：CN118446475A

公开(公告)日：2024-08-06

申请号：CN202410602944.X

申请日：2024-05-15

Applicant: 东华大学

Inventor： 周亚勤 ,  刘一枫 ,  张洁 ,  张朋 ,  吴立辉

IPC: G06Q10/0631 ,  G06Q50/04 ,  G06N3/006 ,  G06N3/0442 ,  G06N3/092

Abstract: 本发明涉及一种车间调度技术，针对晶圆制造炉管区并行设备批处理加工过程的晶圆设备选择和批次排序与设备维护联合调度优化的问题，提出了一种基于强化学习的晶圆制造系统炉管区调度方法，以最小化最大完工时间和最小化总拖期为目标实现炉管区的组批，晶圆设备选择和批次排序与设备维护联合调度优化问题，基于PPO算法构建组批智能体，设备智能体和排序智能体，引入长短期记忆网络对炉管区调度信息进行记忆和预测，并设计一种预维护区间维护策略。抽取问题约束与优化目标的相关特征并设计奖励函数，结合在线评价‑执行机制，选出每次调度的最优行为决策。能够缩短最大完工时间，减少交货期延误，提高晶圆制造系统炉管区的生产效益。