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公开(公告)号:CN119272628A
公开(公告)日:2025-01-07
申请号:CN202411424754.X
申请日:2024-10-12
Applicant: 东北电力大学
IPC: G06F30/27 , G06N3/045 , G06N3/0464 , G06N3/0442 , G06N3/048 , G06N3/084 , G06F119/08
Abstract: 本发明公开了一种固晶机热误差预测方法、装置、设备及存储介质,涉及数据预测技术领域,包括以下步骤:采集固晶机的多组温度数据,获取多组温度数据对应的热误差;在CNN模型中加入多个LSTM层和注意力层,得到初始热误差预测模型;通过多组温度数据与对应的热误差对初始热误差预测模型进行训练,得到热误差预测模型;将待预测的温度数据输入至热误差预测模型,通过CNN层对待预测的温度数据进行特征提取,得到温度特征;通过多个LSTM层对温度特征进行时序特征进行提取,得到全局特征;通过注意力层对全局特征进行加权求和以及映射,得到热误差。本发明将CNN、LSTM和注意力层相结合,大大提高了热误差的预测准确性。