公开(公告)号：CN208328097U

公开(公告)日：2019-01-04

申请号：CN201820947275.X

申请日：2018-06-19

Applicant: 东北林业大学

Inventor： 李景奎 ,  王若颖 ,  戚大伟

IPC: C23C14/35

Abstract: 一种磁控溅射仪的靶基距定量可控升降装置，它涉及一种升降装置。本实用新型解决现有磁控靶可调节的距离非常有限以及真空室内测量具体的靶基距非常不便的问题。所述手轮安装在支撑平台的上端面上，螺杆的上端穿过支撑平台与手轮固定连接，蜗杆的下端与螺杆的上端固接为一体，蜗杆与螺杆同轴设置，涡轮通过轴支座安装在支撑平台的上端面上，蜗杆与涡轮相互啮合，涡轮与蜗杆的齿数比u＝20，涡轮的一侧壁上安装有涡轮盘，涡轮盘上沿其圆周方向均布划分有20个刻度格，涡轮的涡轮轴上设置有指针，指针的初始位置指在涡轮盘零点位置，螺杆的导程为5mm，手轮侧壁上沿其圆周方向均布刻有50个刻度格。本实用新型用于磁控溅射仪的靶基距定量调节。

公开(公告)号：CN208206935U

公开(公告)日：2018-12-07

申请号：CN201820947311.2

申请日：2018-06-19

Applicant: 东北林业大学

Inventor： 李景奎 ,  王若颖 ,  戚大伟

IPC: G01N33/00 ,  C23C14/35

Abstract: 一种磁控溅射实验仪上的样品台，它涉及一种样品台。本实用新型解决了现有的磁控溅射实验仪上的样品台存在影响样品镀膜面积以及样品可调整范围小的问题。涡卷弹簧的内端固定在固定芯轴上，涡卷弹簧的外端与线盘连接，线盘上设置有两个卷线槽，线盘的每个卷线槽上逆时针缠绕有一根铜线，两根铜线均由卷线盒体穿出，两根铜线的穿出位置中心对称设置，样品台主体的两个对角加工有铜线限位槽，样品台主体的下端面上加工有两个定位制动槽，两个定位制动槽平行且相对设置在样品台主体的边缘，每个定位制动槽上设置有一个滑块，卷线盒体穿出的铜线穿过相应的铜线限位槽与相应的一个滑块固接。本实用新型用于磁控溅射实验仪上。