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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116155136B
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202211587925.1
申请日：2022-12-06
Applicant: 东北林业大学
Abstract: 二自由度解耦大行程柔性结构微动平台，属于微动平台技术领域。它提供一种基于杠杆放大、能够实现高精度、大行程、运动解耦的微动平台。机架为框型结构，安装在机架上的两个压电陶瓷驱动单元分别设置X轴和Y轴，工作平台设置在X轴和Y轴的交点上，并柔性安装在机架上，两个压电陶瓷驱动单元各通过一个柔性铰链放大单元结构带动工作平台1沿X轴、Y轴移动。本发明柔性铰链结构一体制造，且结构完全对称，以便微动平台具有良好的力学性能；同时在每个柔性放大单元具有两个放大机构，其中一个为二级放大机构，另一个可以将前放大机构的输出位移再一次放大。最后可实现在工作平台上位移方向有大行程。
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公开(公告)号：CN115406357A
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202210648840.3
申请日：2022-06-09
Applicant: 东北林业大学
Abstract: 基于共焦探测的大深径比微孔测量传感方法及装置属于精密仪器制造及测量技术领域，适用于大深径比微孔的测量；在装配台上安装第一连接架A、第二连接架A、第三连接架A、第四连接架A、第五连接架A、第六连接架A、第七连接架A、第八连接架A、第四连接架B、第五连接架B、第六连接架B、第七连接架B、第八连接架B和二维调整架，激光光源、准直透镜、分光棱镜、偏振分光棱镜A、四分之一波片A、显微物镜A、收集物镜A、光电探测器A、偏振分光棱镜B、四分之一波片B、显微物镜B、收集物镜B、光电探测器B分别装配在第一、二、三、四A、五A、六A、七A、八A、四B、五B、六B、七B、八B连接架上，在二维调整架上安装有光纤探针测头的光纤杆。本装置具有制作简单，分辨力高，实时性好，测量力小，具有测量大深径比微孔能力的特点。
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公开(公告)号：CN115406357B
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202210648840.3
申请日：2022-06-09
Applicant: 东北林业大学
Abstract: 基于共焦探测的大深径比微孔测量传感装置属于精密仪器制造及测量技术领域，适用于大深径比微孔的测量；在装配台上将激光光源、准直透镜、分光棱镜、偏振分光棱镜A、四分之一波片A、显微物镜A、收集物镜A、光电探测器A、偏振分光棱镜B、四分之一波片B、显微物镜B、收集物镜B、光电探测器B分别装配在第一连接架A、第二连接架A、第三连接架A、第四连接架A、第五连接架A、第六连接架A、第七连接架A、第八连接架A、第四连接架B、第五连接架B、第六连接架B、第七连接架B、第八连接架B上，在二维调整架上安装有光纤探针测头的光纤杆。本装置具有制作简单，分辨力高，实时性好，测量力小，具有测量大深径比微孔能力的特点。
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公开(公告)号：CN116170906A
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN202211559639.4
申请日：2022-12-06
Applicant: 东北林业大学
Abstract: 一种支撑梁的MEMS微加热器及其制造方法，属于MEMS技术领域。利用支撑梁吸收热应力以及外界震动，同时提高了温度均匀性，增加了加热器的使用寿命。该MEMS微加热器包括：硅基衬底；隔热层，用于减少MEMS加热器因为热传导损失的热量；绝缘层，通过导热作用，提高加热区域的温度均匀性；加热电阻，位于绝热层的上方；隔离层，完全覆盖在加热电阻的上方。该制造方法，包括以下步骤：S1.刻蚀硅基衬底形成支撑梁、外框和加热平台；S2.在硅基衬底上下两表面上形成隔热层；S3.在隔热层上形成绝缘层；S4.在绝缘层上形成加热电阻；S5.形成隔离层覆盖加热电阻。本发明的加热区通过四周的支撑梁悬浮在空中，减小了热量的损失，同时通过支撑梁的形变吸收了内部的热应力。
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公开(公告)号：CN116155136A
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202211587925.1
申请日：2022-12-06
Applicant: 东北林业大学
Abstract: 二自由度解耦大行程柔性结构微动平台，属于微动平台技术领域。它提供一种基于杠杆放大、能够实现高精度、大行程、运动解耦的微动平台。机架为框型结构，安装在机架上的两个压电陶瓷驱动单元分别设置X轴和Y轴，工作平台设置在X轴和Y轴的交点上，并柔性安装在机架上，两个压电陶瓷驱动单元各通过一个柔性铰链放大单元结构带动工作平台1沿X轴、Y轴移动。本发明柔性铰链结构一体制造，且结构完全对称，以便微动平台具有良好的力学性能；同时在每个柔性放大单元具有两个放大机构，其中一个为二级放大机构，另一个可以将前放大机构的输出位移再一次放大。最后可实现在工作平台上位移方向有大行程。
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