公开(公告)号：CN100585743C

公开(公告)日：2010-01-27

申请号：CN200810064155.6

申请日：2008-03-21

Applicant: 东北林业大学

Inventor： 赵强 ,  岳永恒 ,  关强

IPC: G12B5/00 ,  G12B9/08

Abstract: 一种立方体形并联解耦六自由度微动工作台，它涉及一种微动工作台。本发明的目的是为解决现有六自由度微动机构存在的整个机构体积较大和无法应用于安装空间小的场合的问题。本发明的运动平台和底座分别由三个垂直平面组成，相当于正方体六个平面中三个具有公共顶点平面的组合体，即平台和底座都为立方体半表面，且相互扣在一起使整个机构呈正方体形状，六个压电陶瓷驱动支链并联于底座和运动平台之间，输出直线微位移运动。本发明具有六个自由度，由于采用正交布置，所以能实现运动平台自由度之间的解耦，运动精度高。另外六个压电陶瓷驱动支链处于正方体之中，所以结构紧凑，占用空间小，适用于对微动台精度、体积有严格要求的应用场合。

公开(公告)号：CN101246751A

公开(公告)日：2008-08-20

申请号：CN200810064155.6

申请日：2008-03-21

Applicant: 东北林业大学

Inventor： 赵强 ,  岳永恒 ,  关强

IPC: G12B5/00 ,  G12B9/08

Abstract: 一种立方体形并联解耦六自由度微动工作台，它涉及一种微动工作台。本发明的目的是为解决现有六自由度微动机构存在着平台的输出的自由度相互之间运动存在耦合和整个机构体积较大的问题。本发明的运动平台和底座分别由三个垂直平面组成，相当于正方体六个平面中三个具有公共顶点平面的组合体。即平台和底座都为立方体半表面，且相互扣在一起使整个机构呈正方体形状，六个压电陶瓷驱动支链并联于底座和运动平台之间，输出直线微位移运动，本发明具有六个自由度，由于采用正交布置，所以能实现运动平台自由度之间的解耦，运动精度高。另外六个压电陶瓷驱动支链处于正方体之中，所以结构紧凑，占用空间小，适用于对微动台精度、体积有严格要求的应用场合。