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公开(公告)号：CN116007531A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202211654645.8
申请日：2022-12-21
Applicant: 苏州中科行智智能科技有限公司 , 东北大学秦皇岛分校
Abstract: 本发明公开了一种晶圆测量装置及方法，满足工业检测需求。包括：宽带光源发出的探测光经过光纤到光纤环形器的第一端口，由第二端口输出的光进入准直器，被准直的光进入扫描系统，扫描系统进行扫描，改变探测光的角度，探测光经透镜聚焦于晶圆样品，经参考物上表面、晶圆样品上下表面反射的光，返回光纤环形器，经第三端口输出，通过光纤传输到光谱仪，形成干涉光谱，光谱仪采集干涉光谱，传给处理单元。实现了减少光源强度和频率变化的干扰，改进解调方式，提高处理速度。
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公开(公告)号：CN113267142A
公开(公告)日：2021-08-17
申请号：CN202110536383.4
申请日：2021-05-17
Applicant: 东北大学秦皇岛分校 , 苏州中科行智智能科技有限公司
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种表面轮廓成像装置及方法，涉及光学干涉检测技术，低相干光源发出的光束进入耦合器再进入扫描模块，经过扫描模块后的光束进入3D成像模块；3D成像模块中的分光棱镜将光束分成样品光和参考光，参考光进入参考光模块；由样品和参考光模块反射的光束经原路返回至耦合器，返回至耦合器的光束从耦合器的另一端进入光谱仪形成干涉光谱；由计算机处理形成样品表面的3D轮廓分布；2D成像模块采集样品表面2D图像并将信号传至计算机。本发明使用相对较窄的低相干光源，实现大测量范围高分辨率测量及成像，且成本低；2D成像和3D成像结果融合，实现3D结构和2D彩色双模式成像。
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公开(公告)号：CN113203706A
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN202110534115.9
申请日：2021-05-17
Applicant: 苏州中科行智智能科技有限公司 , 东北大学秦皇岛分校
Abstract: 本发明公开了一种线扫描分光白光干涉仪，光源部分包括SLD光源，SLD光源出光端与准直器连接；准直器出光端发出的光束通过第一柱透镜后进入分光棱镜，并分两路分别进入参考臂和样品臂；参考臂和样品臂返回的反射光通过分光棱镜后进入第二远心镜头，之后进入光谱仪；参考臂依次设有第二柱透镜、消色差透镜、反光镜；样品臂中设有第一远心镜头、测量样品和一维平移台；本发明优点在于，采用SLD光源相干长度短、功率高；柱面镜产生线阵光束，可完成线扫检测，提升检测精度；消色差镜和远心镜头可以是两个不同焦距的镜头，不需要参考臂和样品臂满足等光程条件；远心镜头可以避免死角，具备高定为精度、高能量均匀性优点。
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公开(公告)号：CN113203706B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202110534115.9
申请日：2021-05-17
Applicant: 苏州中科行智智能科技有限公司 , 东北大学秦皇岛分校
IPC: G01N21/45 , G01N21/01 , G01B9/0209
Abstract: 本发明公开了一种线扫描分光白光干涉仪，光源部分包括SLD光源，SLD光源出光端与准直器连接；准直器出光端发出的光束通过第一柱透镜后进入分光棱镜，并分两路分别进入参考臂和样品臂；参考臂和样品臂返回的反射光通过分光棱镜后进入第二远心镜头，之后进入光谱仪；参考臂依次设有第二柱透镜、消色差透镜、反光镜；样品臂中设有第一远心镜头、测量样品和一维平移台；本发明优点在于，采用SLD光源相干长度短、功率高；柱面镜产生线阵光束，可完成线扫检测，提升检测精度；消色差镜和远心镜头可以是两个不同焦距的镜头，不需要参考臂和样品臂满足等光程条件；远心镜头可以避免死角，具备高定为精度、高能量均匀性优点。
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公开(公告)号：CN115950532A
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202211653571.6
申请日：2022-12-21
Applicant: 苏州中科行智智能科技有限公司 , 东北大学秦皇岛分校
Abstract: 本发明公开了一种光学相干层析成像装置及方法，满足工业检测需求，实现较大的检测样品的最大倾角，提高初始相位处理速度。具体包括：宽带光源发出的光经过光纤依次连接隔离器和分光合光系统，经分光合光系统将光分为参考光路和样品光路，参考光路经反射镜反射返回；样品光路进入扫描系统进行扫描，改变样品光路的角度，经透镜二聚焦于样品，经样品反射的样品光路返回；分光合光系统将反射的两路光进行合光，进入光谱仪形成干涉光谱，传给计算机，进行光学相干层析成像。满足工业检测的大倾角和高处理速度的需求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113251945B
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202110535064.1
申请日：2021-05-17
Applicant: 东北大学秦皇岛分校 , 苏州中科行智智能科技有限公司
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明提供了一种线轮廓成像装置的解调方法，通过获取被测物品上的干涉光谱并计算幅度谱获取极大值点的横坐标序数，计算干涉光谱的分光谱的相位，进而计算线轮廓分布并进行修正，非卷绕范围较大，抗噪能力较强，容易判断去卷绕是否出错。本发明还提供了一种线轮廓成像装置，能够防止被测物品对成像造成遮挡，使用相对较窄的低相干光源产生线形光，实现毫米数量级的大范围、纳米级的高分辨率测量及成像，实施成本较低。
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公开(公告)号：CN113251897A
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202110535055.2
申请日：2021-05-17
Applicant: 东北大学秦皇岛分校 , 苏州中科行智智能科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于白光干涉的量块测量装置及方法，涉及测量技术领域，包括低相干光源，分光元件，量块，光谱仪，第一透明板，第二透明板，所述低相干光源发出的光进入分光元件，从分光元件一端输出的光经第一透镜组件汇聚在量块左表面上；从分光元件另一端输出的光经过第二透镜组件汇聚在量块右表面上；从量块和第一透明板反射的光经分光元件进入光谱仪形成第一干涉光谱；从量块和第二透明板反射的光返回分光元件进入光谱仪形成第二干涉光谱；光谱仪记录这两个干涉光谱的叠加信号再传输到数据处理模块处理。本发明结合傅里叶变换的频率和相位，实现了基于白光干涉的量块的高精度测量，无需接触，操作方便。
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公开(公告)号：CN113175887B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202110536390.4
申请日：2021-05-17
Applicant: 苏州中科行智智能科技有限公司 , 东北大学秦皇岛分校
Abstract: 本发明提供了一种测量薄膜厚度与折射率的装置和方法，属于光学测量领域。本发明装置包括低相干光源、分光组件、反射镜、样品槽、光谱仪和信号处理单元，从低相干光源发出的光进入分光组件，经分光组件将光分为参考光和样品光。参考光照射在反射镜上；样品光垂直于样品槽侧面射入样品槽。经反射镜反射的参考光，以及经样品槽和待测样品反射的样品光反射进入分光组件，并输出进入光谱仪。结合傅里叶变换的频率和相位进行解调，分别测量样品槽空置、放置样品后的光程，对于薄薄膜，还在样品槽倒入折射率已知液体进行光程测量。本发明基于相敏光学相干层析的测量方法，具有纳米级精度、操作简单、可适用于各种状态薄膜的优点。
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公开(公告)号：CN113267142B
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202110536383.4
申请日：2021-05-17
Applicant: 东北大学秦皇岛分校 , 苏州中科行智智能科技有限公司
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种表面轮廓成像装置及方法，涉及光学干涉检测技术，低相干光源发出的光束进入耦合器再进入扫描模块，经过扫描模块后的光束进入3D成像模块；3D成像模块中的分光棱镜将光束分成样品光和参考光，参考光进入参考光模块；由样品和参考光模块反射的光束经原路返回至耦合器，返回至耦合器的光束从耦合器的另一端进入光谱仪形成干涉光谱；由计算机处理形成样品表面的3D轮廓分布；2D成像模块采集样品表面2D图像并将信号传至计算机。本发明使用相对较窄的低相干光源，实现大测量范围高分辨率测量及成像，且成本低；2D成像和3D成像结果融合，实现3D结构和2D彩色双模式成像。
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公开(公告)号：CN113251945A
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202110535064.1
申请日：2021-05-17
Applicant: 东北大学秦皇岛分校 , 苏州中科行智智能科技有限公司
Abstract: 本发明提供了一种线轮廓成像装置的解调方法，通过获取被测物品上的干涉光谱并计算幅度谱获取极大值点的横坐标序数，计算干涉光谱的分光谱的相位，进而计算线轮廓分布并进行修正，非卷绕范围较大，抗噪能力较强，容易判断去卷绕是否出错。本发明还提供了一种线轮廓成像装置，能够防止被测物品对成像造成遮挡，使用相对较窄的低相干光源产生线形光，实现毫米数量级的大范围、纳米级的高分辨率测量及成像，实施成本较低。
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