公开(公告)号：CN115704700A

公开(公告)日：2023-02-17

申请号：CN202110899933.9

申请日：2021-08-06

Applicant: 东北大学秦皇岛分校

Inventor： 陈茂庆 ,  贺同月 ,  赵勇

IPC: G01D5/353

Abstract: 本发明属于光纤器件制作技术领域，公开了一种基于飞秒激光刻写反射面的微型探针式光纤法布里‑铂罗干涉仪(Fabry‑Perot Interferometer,FPI)制作方法。采用单模光纤拉锥、放电熔接及飞秒激光刻写反射面方法制作微型探针式FPI。微型探针的尺寸可以通过调节熔接机的放电强度、放电时间、放电次数，两侧电极的移动时间、移动距离得以控制。微型探针中嵌入的反射面的形状可以通过调节飞秒激光的频率、波长、功率以及刻写路径得以控制。该方法可得到结构紧凑、可批量生产、性能稳定的微型探针式法布里‑铂罗干涉仪，在基于法布里‑铂罗的干涉式光纤传感器的生产及应用过程中起着至关重要的作用。此外，微型探针式FPI可以用于高温、折射率、湿度等参数探测。

公开(公告)号：CN115933058A

公开(公告)日：2023-04-07

申请号：CN202110900040.1

申请日：2021-08-06

Applicant: 东北大学秦皇岛分校

Inventor： 陈茂庆 ,  贺同月 ,  赵勇

IPC: G02B6/255 ,  G02B6/02

Abstract: 本发明属于光纤器件制作技术领域，公开了一种基于飞秒激光的光纤探针式微流道超短布拉格光栅（ultra‑short fiber Bragg grating，ultra‑short FBG）制备方法。采用单模光纤拉锥、放电熔接及飞秒激光刻蚀微流道方法制作基于微型探针的超短FBG。微型探针的尺寸可以通过调节熔接机的放电强度、放电时间、放电次数，两侧电极的移动时间、移动距离得以控制。微型探针中刻蚀的超短FBG的周期和周期的个数可以通过调节飞秒激光焦点的移动路径得以控制。该方法可得到结构紧凑、可批量生产、性能稳定的基于微型探针的超短光纤布拉格光栅，在基于光纤布拉格光栅式光纤传感器的生产及应用过程中起着至关重要的作用。该方法可以避免使用特种光纤，降低了光纤器件的制备成本。该方法可以根据应用领域的不同，制备不同直径、不同长度的微型探针以及不同周期和不同周期个数的超短FBG。此外，基于微型探针的超短FBG可以用于折射率、高温、湿度等参数探测。