-
公开(公告)号：CN118857143A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202410906462.3
申请日：2024-07-08
Applicant: 东北大学秦皇岛分校
IPC: G01B11/24 , G01B9/02055 , G01B9/02
Abstract: 本发明属于表面轮廓测量技术领域，公开了一种基于SSOCT的高速、大量程、高精度表面轮廓测量方法方法。基于搭建中心波长为1310nm的迈克尔逊干涉仪，采用高精度频率提取与数字光谱矫正，对实际物体的表面轮廓进行测定。充分利用SSOCT固有优势，克服SSOCT需要大数据量采集的弊端，通过提高光谱采集率实现了快速、大量程的表面轮廓测量。并针对表面轮廓测量中干涉光谱的特点，提出了更为精确的频率估计算法，进而实现了亚微米精度的测量。
Search Results
1
records
(took 0.025 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
