公开(公告)号：CN108696182B

公开(公告)日：2019-06-07

申请号：CN201810536236.5

申请日：2018-05-30

Applicant: 东北大学

Inventor： 郝丽娜 ,  车鸿鹏 ,  高金海

IPC: H02N2/12 ,  H02N2/14

Abstract: 本发明的一种面向多工位精密操作的旋转载物台与控制方法，由固定机构、运动机构和载物平面三部分组成，以压电叠堆为驱动器通过仿尺蠖型的运动原理实现步进式旋转运动。固定机构分为上下两层，通过矩形柔性铰链连接，在下层外径均匀分布有三组驱动单元。运动机构分为上下两层，在装配过程中分别与固定机构的上下层处于间隙配合，运动机构每层都设计有以桥式微位移放大机构为主体的钳位单元，经压电叠堆驱动后，增大运动件直径尺寸，与固定机构之间从间隙配合转化为过盈配合实现钳位。为实现仿尺蠖型的运动原理，设计了严格的时序控制信号，并针对驱动单元的非线性对控制信号进行补偿。使得该发明具有结构紧凑，响应快，定位精度高，行程大等优点。

公开(公告)号：CN108696182A

公开(公告)日：2018-10-23

申请号：CN201810536236.5

申请日：2018-05-30

Applicant: 东北大学

Inventor： 郝丽娜 ,  车鸿鹏 ,  高金海

IPC: H02N2/12 ,  H02N2/14

CPC classification number: H02N2/12 ,  H02N2/14

Abstract: 本发明的一种面向多工位精密操作的旋转载物台与控制方法，由固定机构、运动机构和载物平面三部分组成，以压电叠堆为驱动器通过仿尺蠖型的运动原理实现步进式旋转运动。固定机构分为上下两层，通过矩形柔性铰链连接，在下层外径均匀分布有三组驱动单元。运动机构分为上下两层，在装配过程中分别与固定机构的上下层处于间隙配合，运动机构每层都设计有以桥式微位移放大机构为主体的钳位单元，经压电叠堆驱动后，增大运动件直径尺寸，与固定机构之间从间隙配合转化为过盈配合实现钳位。为实现仿尺蠖型的运动原理，设计了严格的时序控制信号，并针对驱动单元的非线性对控制信号进行补偿。使得该发明具有结构紧凑，响应快，定位精度高，行程大等优点。