公开(公告)号：CN110864628B

公开(公告)日：2021-02-19

申请号：CN201911009046.9

申请日：2019-10-23

Applicant: 东北大学

Inventor： 王旗 ,  李骁恒 ,  张文涛 ,  胡广兴 ,  郝爽

IPC: G01B11/02 ,  G09B23/22

Abstract: 一种双光源微小位移的测量方法，包括以下步骤：步骤1，微小位移测量装置的组装；步骤2，调整上、下可动发光镜处于零光程差位置；步骤3，在观察屏上同时出现绿色与红色各两排光斑；步骤4，通过转动螺丝调整上、下固定反射镜的角度，在观察屏上观察到不清晰的干涉光圈；步骤5，调整出清晰但不完整的绿色与红色干涉光圈；步骤6，调整出同心圆环绿色与红色干涉光圈；步骤7，加热待测物体，移动上可动反射镜和下可动反射镜，出现两种光圈吞吐情况；步骤8，通过高速摄像机记录绿色和红色干涉光圈的吞吐数，并通过计算机处理后期图像；步骤9，计算位移量。通过本发明方法计算可以将测量位移的精度提高到原迈克尔逊干涉仪的三倍以上。

公开(公告)号：CN110864628A

公开(公告)日：2020-03-06

申请号：CN201911009046.9

申请日：2019-10-23

Applicant: 东北大学

Inventor： 王旗 ,  李骁恒 ,  张文涛 ,  胡广兴 ,  郝爽

IPC: G01B11/02 ,  G09B23/22

Abstract: 一种双光源微小位移的测量方法，包括以下步骤：步骤1，微小位移测量装置的组装；步骤2，调整上、下可动发光镜处于零光程差位置；步骤3，在观察屏上同时出现绿色与红色各两排光斑；步骤4，通过转动螺丝调整上、下固定反射镜的角度，在观察屏上观察到不清晰的干涉光圈；步骤5，调整出清晰但不完整的绿色与红色干涉光圈；步骤6，调整出同心圆环绿色与红色干涉光圈；步骤7，加热待测物体，移动上可动反射镜和下可动反射镜，出现两种光圈吞吐情况；步骤8，通过高速摄像机记录绿色和红色干涉光圈的吞吐数，并通过计算机处理后期图像；步骤9，计算位移量。通过本发明方法计算可以将测量位移的精度提高到原迈克尔逊干涉仪的三倍以上。