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公开(公告)号:CN109655176B
公开(公告)日:2020-05-08
申请号:CN201910072880.6
申请日:2019-01-25
Applicant: 东北大学
IPC: G01K11/32
Abstract: 本发明公开了一种基于空腔填充型微结构光纤干涉仪的高精度温度探头,主要由光源、物镜、半透半反镜、光纤结构、探测器组成,其中光纤结构包含光纤纤芯、光纤包层、温敏腔室、反射涂层和反射涂层;光源发射出光透过物镜经过半透半反镜进入光纤纤芯,当光源到达温敏腔室的表面时,一部分光被反射到反射涂层再原路返回进入光纤纤芯;另一部分光直接进入温敏腔室,到达反射涂层后,再原路返回进入光纤纤芯,返回的两路光信号经过半透半反镜反射至探测器。本发明可应用于狭小空间、高腐蚀环境下的温度精准监测,并可以根据实际需要选择不同的敏感材料实现对不同参数的实时监测。
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公开(公告)号:CN109632715B
公开(公告)日:2020-03-24
申请号:CN201910072881.0
申请日:2019-01-25
Applicant: 东北大学
IPC: G01N21/45
Abstract: 本发明公开了一种基于三角微腔双路F‑P干涉补偿的气体传感探头,该探头包括光路腔室和检测腔室,两个腔室被密封板隔离开,其中光路腔室包括光源,由其发出的光经过分光棱镜后,再经过凸透镜聚焦准直,从检测腔室返回的光信号由光探测器接收。检测腔室由光纤结构、栅隔支架、进气口和出气口构成,光纤结构的一端构建了气体检测室,为了提高反射率在光纤结构的端头涂覆了金膜反射层。本发明可以通过双路F‑P干涉信号的差分处理实现温度的自补偿,使探头工作时不受环境温度的影响,该探头结构紧凑、体积小,可以实现在狭小空间内的安装和气体泄漏的实时监测。
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公开(公告)号:CN109655176A
公开(公告)日:2019-04-19
申请号:CN201910072880.6
申请日:2019-01-25
Applicant: 东北大学
IPC: G01K11/32
Abstract: 本发明公开了一种基于空腔填充型微结构光纤干涉仪的高精度温度探头,主要由光源、物镜、半透半反镜、光纤结构、探测器组成,其中光纤结构包含光纤纤芯、光纤包层、温敏腔室、反射涂层和反射涂层;光源发射出光透过物镜经过半透半反镜进入光纤纤芯,当光源到达温敏腔室的表面时,一部分光被反射到反射涂层再原路返回进入光纤纤芯;另一部分光直接进入温敏腔室,到达反射涂层后,再原路返回进入光纤纤芯,返回的两路光信号经过半透半反镜反射至探测器。本发明可应用于狭小空间、高腐蚀环境下的温度精准监测,并可以根据实际需要选择不同的敏感材料实现对不同参数的实时监测。
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公开(公告)号:CN109632715A
公开(公告)日:2019-04-16
申请号:CN201910072881.0
申请日:2019-01-25
Applicant: 东北大学
IPC: G01N21/45
Abstract: 本发明公开了一种基于三角微腔双路F‑P干涉补偿的气体传感探头,该探头包括光路腔室和检测腔室,两个腔室被密封板隔离开,其中光路腔室包括光源,由其发出的光经过分光棱镜后,再经过凸透镜聚焦准直,从检测腔室返回的光信号由光探测器接收。检测腔室由光纤结构、栅隔支架、进气口和出气口构成,光纤结构的一端构建了气体检测室,为了提高反射率在光纤结构的端头涂覆了金膜反射层。本发明可以通过双路F‑P干涉信号的差分处理实现温度的自补偿,使探头工作时不受环境温度的影响,该探头结构紧凑、体积小,可以实现在狭小空间内的安装和气体泄漏的实时监测。
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