公开(公告)号：CN119217548A

公开(公告)日：2024-12-31

申请号：CN202310782615.3

申请日：2023-06-29

Applicant: 东北大学

Inventor： 杨杰 ,  尚祖涛 ,  朱俊先

IPC: B28D5/00 ,  G01B7/06 ,  H03F1/34 ,  H03H7/06

Abstract: 本发明提供一种高灵敏、高精度、抗干扰晶圆切割机刀片测高电路，涉及晶圆切割机刀片测高技术领域，该测高电路包括电流采样电路、滤波及放大电路与误导通抑制电路；所述电流采样电路用于对晶圆切割机刀片接触晶圆切割机底盘时形成回路的电流信号进行采样，并对晶圆切割机内部干扰信号进行滤波；所述滤波及放大电路用于对晶圆切割机主轴处高频干扰信号进行有源滤波并将滤波后的采样信号放大；所述误导通抑制电路用于对晶圆切割机工作过程中水汽与油雾误触发的干扰信号进行隔离抑制。本发明电路结构简单，参数调整灵活，解决了晶圆切割机内部干扰引起的测高信号误触发以及接触电阻较大时产生的测高迟钝、误差较大、系统失效的问题。

公开(公告)号：CN115242057A

公开(公告)日：2022-10-25

申请号：CN202210935326.8

申请日：2022-08-05

Applicant: 东北大学

Inventor： 杨杰 ,  朱俊先

IPC: H02M1/00 ,  H02M1/08 ,  H02M3/00

Abstract: 本专利公开了一种新型高温负压输出直流开关电源的高阶反馈补偿电路，由电阻、电容、和通用运算放大器构成。这种补偿电路的传递函数具有三个零点和三个极点，比传统三型补偿器的传递函数多一个零点，可以更好地满足CUK电路高阶功率拓扑结构的补偿要求；同时也可以改善BUCK、BOOST等常用DC‑DC开关电源大温度跨度的工作条件下的补偿效果。同时这种补偿电路还可以将负压输出转换为正压信号以便与参考电压进行比较，解决了在高温环境下负压采样的问题。此发明的负压输出高温直流电源高阶反馈补偿电路结构简单，结构简单，补偿参数调整更为灵活，在高温环境下对电路元件要求低，易于实现。