公开(公告)号：CN110129733B

公开(公告)日：2020-11-10

申请号：CN201910533157.3

申请日：2019-06-19

Applicant: 东北大学

Inventor： 谢元华 ,  王朋阳 ,  刘坤 ,  杜广煜 ,  臧浩天 ,  胡强 ,  张昕洁

IPC: C23C14/16 ,  C23C14/08 ,  C23C14/06 ,  C23C14/02 ,  C23C14/35

Abstract: 本发明涉及磁性材料表面防护技术领域，尤其涉及一种烧结钕铁硼磁体表面复合膜层及其制备方法。该具有复合膜层的烧结钕铁硼磁体包括磁体本体，以及依次层叠设置于磁体本体表面的铝膜层、氧化铝膜层和氮化钛膜层。本发明提供的烧结钕铁硼磁体，通过依次沉积铝膜层、氧化铝膜层和氮化钛膜层，能够打断和封闭贯穿薄膜的组织缺陷的结构效应，避免了形成贯穿多层薄膜的针孔、微裂纹等组织缺陷，提高了磁体的耐腐蚀性。多层膜交替沉积，减少了膜层内应力，使氮化钛更加致密，还增强了膜层之间及膜层与基底的结合力，进一步增强了耐腐蚀性能。此外，通过氧化铝膜层的设置，还提高了磁体的耐高温抗氧化性，通过氮化钛膜层的沉积，提高了磁体的抗冲蚀能力。

公开(公告)号：CN110129733A

公开(公告)日：2019-08-16

申请号：CN201910533157.3

申请日：2019-06-19

Applicant: 东北大学

Inventor： 谢元华 ,  王朋阳 ,  刘坤 ,  杜广煜 ,  臧浩天 ,  胡强 ,  张昕洁

IPC: C23C14/16 ,  C23C14/08 ,  C23C14/06 ,  C23C14/02 ,  C23C14/35

Abstract: 本发明涉及磁性材料表面防护技术领域，尤其涉及一种烧结钕铁硼磁体表面复合膜层及其制备方法。该具有复合膜层的烧结钕铁硼磁体包括磁体本体，以及依次层叠设置于磁体本体表面的铝膜层、氧化铝膜层和氮化钛膜层。本发明提供的烧结钕铁硼磁体，通过依次沉积铝膜层、氧化铝膜层和氮化钛膜层，能够打断和封闭贯穿薄膜的组织缺陷的结构效应，避免了形成贯穿多层薄膜的针孔、微裂纹等组织缺陷，提高了磁体的耐腐蚀性。多层膜交替沉积，减少了膜层内应力，使氮化钛更加致密，还增强了膜层之间及膜层与基底的结合力，进一步增强了耐腐蚀性能。此外，通过氧化铝膜层的设置，还提高了磁体的耐高温抗氧化性，通过氮化钛膜层的沉积，提高了磁体的抗冲蚀能力。