公开(公告)号：CN102941004A

公开(公告)日：2013-02-27

申请号：CN201210487460.2

申请日：2012-11-27

Applicant: 东北大学

Inventor： 石忠宁 ,  唐卫 ,  王兆文 ,  高炳亮 ,  胡宪伟 ,  徐君莉

IPC: B01D53/74 ,  B01D53/68

CPC classification number: Y02C20/30

Abstract: 一种铝电解及微电子工业产生的碳氟化合物的分解方法，属废气处理领域。本发明按照以下步骤进行：（1）将固体金属放入一个坩埚内，通过真空系统将反应器内空气抽尽，通入保护气体氩气后进行加热，加热到预定温度；（2）当温度升至预定温度后，通过真空系统抽出保护性气体，并通入待分解的PFCs气体，密闭反应条件下进行反应，反应时间为：30～40分钟；将反应器冷却到室温后，取出反应物，坩埚内反应产物自然分层，得到可回收利用的碳和金属氟化物、氯化物。本发明实现了处理PFCs的零排放，降低了能耗和处理成本。而且整个处理流程短，过程简单，加上反应条件不是很苛刻，对反应器的要求也不是很高，这样也可以降低设备的费用。

公开(公告)号：CN102941004B

公开(公告)日：2014-11-05

申请号：CN201210487460.2

申请日：2012-11-27

Applicant: 东北大学

Inventor： 石忠宁 ,  唐卫 ,  王兆文 ,  高炳亮 ,  胡宪伟 ,  徐君莉

IPC: B01D53/74 ,  B01D53/68

CPC classification number: Y02C20/30

Abstract: 一种铝电解及微电子工业产生的碳氟化合物的分解方法，属废气处理领域。本发明按照以下步骤进行：（1）将固体金属放入一个坩埚内，通过真空系统将反应器内空气抽尽，通入保护气体氩气后进行加热，加热到预定温度；（2）当温度升至预定温度后，通过真空系统抽出保护性气体，并通入待分解的PFCs气体，密闭反应条件下进行反应，反应时间为：30～40分钟；将反应器冷却到室温后，取出反应物，坩埚内反应产物自然分层，得到可回收利用的碳和金属氟化物、氯化物。本发明实现了处理PFCs的零排放，降低了能耗和处理成本。而且整个处理流程短，过程简单，加上反应条件不是很苛刻，对反应器的要求也不是很高，这样也可以降低设备的费用。