一种基于压电陶瓷并联驱动的三维平台

    公开(公告)号:CN117948513A

    公开(公告)日:2024-04-30

    申请号:CN202410279088.9

    申请日:2024-03-12

    Applicant: 东北大学

    Abstract: 本发明涉及一种基于压电陶瓷并联驱动的三维平台,包括基座、运动台、支撑架、检测单元和压电驱动单元;运动台包括输出平台、导向杆、操纵圆盘、球窝轴承和球窝轴承固定套环,导向杆连接输出平台与操纵圆盘,球窝轴承内圈套在导向杆上,球窝轴承外圈固定嵌装在球窝轴承固定套环内;支撑架用于连接球窝轴承固定套环与基座;输出平台与支撑架通过偏置弹簧相连;压电驱动单元包括压电陶瓷堆栈、导轨滑块、驱动头、预紧弹簧、磁性组件和包围框架,磁性组件固定在压电陶瓷堆栈输出端,且抵于预紧弹簧端;检测单元包括激光位移传感器和测点装置,激光位移传感器固定在基座上,测点装置固定在导轨上;本发明实现了运动平台的宏微跨尺度精密运动。

    一种基于压电陶瓷并联驱动的三维平台

    公开(公告)号:CN221839377U

    公开(公告)日:2024-10-15

    申请号:CN202420473237.0

    申请日:2024-03-12

    Applicant: 东北大学

    Abstract: 本实用新型涉及一种基于压电陶瓷并联驱动的三维平台,包括基座、运动台、支撑架、检测单元和压电驱动单元;运动台包括输出平台、导向杆、操纵圆盘、球窝轴承和球窝轴承固定套环,导向杆连接输出平台与操纵圆盘,球窝轴承内圈套在导向杆上,球窝轴承外圈固定嵌装在球窝轴承固定套环内;支撑架用于连接球窝轴承固定套环与基座;输出平台与支撑架通过偏置弹簧相连;压电驱动单元包括压电陶瓷堆栈、导轨滑块、驱动头、预紧弹簧、磁性组件和包围框架,磁性组件固定在压电陶瓷堆栈输出端,且抵于预紧弹簧端;检测单元包括激光位移传感器和测点装置,激光位移传感器固定在基座上,测点装置固定在导轨上;本实用新型实现了运动平台的宏微跨尺度精密运动。

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