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公开(公告)号：CN108194343A
公开(公告)日：2018-06-22
申请号：CN201711410851.3
申请日：2017-12-23
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC: F04B51/00
CPC classification number: F04B51/00
Abstract: 本发明涉及一种真空泵测试系统及测试方法。真空泵测试系统包括分别用于与待测泵室的吸气口和排气口连通的第一和第二真空室、分别测量第一和第二真空室的压力的第一和第二测压系统、为第一和第二真空室供气的供气设备、分别从第一和第二真空室抽气的第一和第二抽气设备、测量和控制第一真空室气体流量的气体流量测控设备、分别控制第一和第二真空室的温度的第一和第二控温设备。真空泵测试方法应用该真空泵测试系统。上述真空泵测试系统和测试方法可提供压力、流量和温度可控的测试环境，可以模拟不同情况下真空泵的抽气状态，且可用于不同种类的真空泵的抽气性能测试。
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公开(公告)号：CN106678041B
公开(公告)日：2018-05-25
申请号：CN201710091367.2
申请日：2017-02-21
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明属于干式真空泵技术领域，具体涉及一种外平衡式螺杆真空泵。本发明的技术方案如下：一种外平衡式螺杆真空泵，包括电机、泵体、齿轮箱二、增速齿轮副、同步齿轮副、主动转子和从动转子，所述泵体设有齿轮箱一，所述电机和齿轮箱二分别设置在所述泵体的两端；所述主动转子和从动转子设置在所述泵体内；所述增速齿轮副和同步齿轮副安装在所述主动转子和从动转子的两端；所述增速齿轮副设置在齿轮箱一内，所述同步齿轮副设置在齿轮箱二内。本发明提供的外平衡式螺杆真空泵，目的在于改善螺杆真空泵的轴向受力平衡问题的同时，实现螺杆真空泵流量零损失，采用双侧布置齿轮和过渡轴联接方式，结构紧凑、传动平稳。
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公开(公告)号：CN108194343B
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201711410851.3
申请日：2017-12-23
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
IPC: F04B51/00
Abstract: 本发明涉及一种真空泵测试系统及测试方法。真空泵测试系统包括分别用于与待测泵室的吸气口和排气口连通的第一和第二真空室、分别测量第一和第二真空室的压力的第一和第二测压系统、为第一和第二真空室供气的供气设备、分别从第一和第二真空室抽气的第一和第二抽气设备、测量和控制第一真空室气体流量的气体流量测控设备、分别控制第一和第二真空室的温度的第一和第二控温设备。真空泵测试方法应用该真空泵测试系统。上述真空泵测试系统和测试方法可提供压力、流量和温度可控的测试环境，可以模拟不同情况下真空泵的抽气状态，且可用于不同种类的真空泵的抽气性能测试。
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公开(公告)号：CN106678041A
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201710091367.2
申请日：2017-02-21
Applicant: 东北大学
CPC classification number: F04C18/16 , F04C23/02 , F04C25/02 , F04C29/0021 , F04C29/005
Abstract: 本发明属于干式真空泵技术领域，具体涉及一种外平衡式螺杆真空泵。本发明的技术方案如下：一种外平衡式螺杆真空泵，包括电机、泵体、齿轮箱二、增速齿轮副、同步齿轮副、主动转子和从动转子，所述泵体设有齿轮箱一，所述电机和齿轮箱二分别设置在所述泵体的两端；所述主动转子和从动转子设置在所述泵体内；所述增速齿轮副和同步齿轮副安装在所述主动转子和从动转子的两端；所述增速齿轮副设置在齿轮箱一内，所述同步齿轮副设置在齿轮箱二内。本发明提供的外平衡式螺杆真空泵，目的在于改善螺杆真空泵的轴向受力平衡问题的同时，实现螺杆真空泵流量零损失，采用双侧布置齿轮和过渡轴联接方式，结构紧凑、传动平稳。
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