公开(公告)号：CN119508184A

公开(公告)日：2025-02-25

申请号：CN202411671795.9

申请日：2024-11-21

Applicant: 东北大学

Inventor： 刘坤 ,  倪伟明 ,  邹先峰 ,  谢元华 ,  巴要帅

IPC: F04B37/14 ,  F04B39/00 ,  F04B39/10 ,  F04B39/12 ,  F16L55/052 ,  F16L55/055

Abstract: 本发明涉及真空机组技术领域，具体涉及一种用于真空机组的排气压力脉动调节装置及其真空机组，包括外壳体和调节机构。调节机构包括筒状结构件和调节缓冲主体。筒状结构件的进气端、内腔和连通孔之间形成的第二气流通道。调节缓冲主体设置于筒状结构件的内腔中，调节缓冲主体将筒状结构件分成缓冲区和气动缓冲区两部分。在排气过程中，根据缓冲区和气动缓冲区之间的压差情况自适应地利用调节缓冲主体进行气流通道的分离，对管路的冲击和作用力较小。当排气压力过大时，调节缓冲主体还能够进行减震缓冲，可达到调节排气压力脉动的目的。排气压力脉动调节装置装置排气压力脉动调节装置具有空间体积小、密封性好、结构简单等特点。