公开(公告)号：CN115290177A

公开(公告)日：2022-11-04

申请号：CN202210896892.2

申请日：2022-07-28

Applicant: 东北大学

Inventor： 马树军 ,  尹君作 ,  于延涛 ,  李沐昕 ,  王昊 ,  刘辉

IPC: G01H9/00

Abstract: 本发明公开了一种基于光杠杆原理的微悬臂梁振动测试系统及方法，涉及微传感器技术和振动测试领域；该测试系统在传统的光杠杆原理基础上，将入射光和出射光改成共光路设计，由光路测量及显微模块、激振模块、真空模块、数据采集模块、微动模块和计算机组成；该测试系统有效的克服了传统光杠杆原理需扩大臂长来提升系统灵敏度的缺点，现只需按照不同的测试对象，更换不同参数的物镜和透镜即可改变测试系统的灵敏度，有效地解决了现有微悬臂梁振动测试系统集成度低、成本高和噪声高等问题。

公开(公告)号：CN115218786A

公开(公告)日：2022-10-21

申请号：CN202210839499.X

申请日：2022-07-18

Applicant: 东北大学

Inventor： 马树军 ,  王昊 ,  于延涛 ,  李沐昕 ,  尹君作 ,  刘辉

IPC: G01B11/00 ,  G01H9/00 ,  G06F7/50

Abstract: 本发明公开了一种用于位置敏感探测器的高频信号处理电路及方法，属于微弱信号转换和检测技术领域；通过PSD工作电路将微弱的高频光学信号转换为微弱的高频的电流信号，通过跨阻放大电路将电流信号转换为电压信号，通过所述二级放大电路再次放大电压信号，最后通过所述加减法电路得到光信号在PSD的x轴和y轴上的位置变化情况。本发明具有电路结构简单、输出结果受运算放大器的放大精度与地面噪声干扰小的优点。通过实验测试本发明输出信号稳定性良好，电路处理结果也具有很高的准确性。

公开(公告)号：CN115184687A

公开(公告)日：2022-10-14

申请号：CN202210892734.X

申请日：2022-07-27

Applicant: 东北大学

Inventor： 马树军 ,  于延涛 ,  尹君作 ,  王昊 ,  刘辉

IPC: G01R27/26

Abstract: 本发明提供一种面向平板电容式MEMS传感器微弱电容检测的动态测试系统，涉及微纳传感器技术领域。该系统包括模态检测系统和数字控制系统。模态检测系统包括差分放大器I、差分放大器II、加法器、C/V转换器、解调器、高通滤波器、低通滤波器、电源模块；数字控制系统包括FPGA控主控电路、DDS模块I、DDS模块II、正弦波电路I、正弦波电路II、A/D转换模块、FFT模块、VGA显示模块。本发明基于双频交流信号调制解调技术的微弱电容检测原理，结合FPGA技术将模态检测电路与数字化控制系统进行集成，可以实时动态的进行微纳传感器的模态检测，操作人员可以不受实验器材的约束进行实时测量操作方便，成本低廉，提高了检测的效率。

公开(公告)号：CN115218786B

公开(公告)日：2025-01-24

申请号：CN202210839499.X

申请日：2022-07-18

Applicant: 东北大学

Inventor： 马树军 ,  王昊 ,  于延涛 ,  李沐昕 ,  尹君作 ,  刘辉

IPC: G01B11/00 ,  G01H9/00 ,  G06F7/50

Abstract: 本发明公开了一种用于位置敏感探测器的高频信号处理电路及方法，属于微弱信号转换和检测技术领域；通过PSD工作电路将微弱的高频光学信号转换为微弱的高频的电流信号，通过跨阻放大电路将电流信号转换为电压信号，通过所述二级放大电路再次放大电压信号，最后通过所述加减法电路得到光信号在PSD的x轴和y轴上的位置变化情况。本发明具有电路结构简单、输出结果受运算放大器的放大精度与地面噪声干扰小的优点。通过实验测试本发明输出信号稳定性良好，电路处理结果也具有很高的准确性。