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公开(公告)号：CN102859657A
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201280001147.1
申请日：2012-02-01
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 三井造船株式会社
IPC: H01L21/22 , C23C16/46 , H01L21/205 , H01L21/31 , H01L21/324
CPC classification number: H01L21/67109 , H01L21/67303
Abstract: 通过控制从加热座的周缘部进入的磁通量的透射，准确控制加热座的面内温度。为具有载置基板的载置面的导电部件，包括：加热座（200），其分为周缘部（210）和包围于该周缘部的内侧部（220），内侧部包括厚板状发热体，周缘部将比内侧部薄的薄板状发热体在互相电绝缘的状态下层叠而构成；和电磁铁（120），其从加热座的侧面在平行于该载置面的方向上形成交流磁场，通过由施加于卷绕于该电磁铁的感应线圈（124）的两个频率的高频电流来控制在各薄板状发热体产生的感应电流而控制磁通量透过内侧部，由此改变各加热座的周缘部的发热量和内侧部的发热量的比例来进行温度控制。
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公开(公告)号：CN102859657B
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201280001147.1
申请日：2012-02-01
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 三井造船株式会社
IPC: H01L21/22 , C23C16/46 , H01L21/205 , H01L21/31 , H01L21/324
CPC classification number: H01L21/67109 , H01L21/67303
Abstract: 通过控制从加热座的周缘部进入的磁通量的透射，准确控制加热座的面内温度。为具有载置基板的载置面的导电部件，包括：加热座（200），其分为周缘部（210）和包围于该周缘部的内侧部（220），内侧部包括厚板状发热体，周缘部将比内侧部薄的薄板状发热体在互相电绝缘的状态下层叠而构成；和电磁铁（120），其从加热座的侧面在平行于该载置面的方向上形成交流磁场，通过由施加于卷绕于该电磁铁的感应线圈（124）的两个频率的高频电流来控制在各薄板状发热体产生的感应电流而控制磁通量透过内侧部，由此改变各加热座的周缘部的发热量和内侧部的发热量的比例来进行温度控制。
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公开(公告)号：CN103262648A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201080070499.3
申请日：2010-12-03
Applicant: 三井造船株式会社
IPC: H05B6/44
Abstract: 降低逆变换装置的开关损耗。具备靠近地配置的多个感应加热线圈（20）、与这些感应加热线圈（20）各自串联连接的电容器（40），并具有将直流电压变换为矩形波电压的多个逆变换装置（30）、以及以使流过多个感应加热线圈（20）的线圈电流的相位一致的方式进行控制的控制电路（15），该控制电路（15）以使在线圈电流过零时矩形波电压的瞬时值维持为直流电压或者其反转电压的方式对矩形波电压转变的时刻进行控制。
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公开(公告)号：CN1631056B
公开(公告)日：2010-11-03
申请号：CN02829217.0
申请日：2002-06-26
Applicant: 三井造船株式会社
CPC classification number: A45D20/12 , H05B6/04 , H05B6/06 , H05B6/067 , H05B6/145 , Y10T307/25 , Y10T307/273
Abstract: 本发明的目的是防止每个加热线圈的边缘部分中的温度下降，和能消除负载状态变化造成的影响。为了实现这个目的，根据本发明的感应加热装置400配备有分别与多个加热线圈310(310a到310d)相对应的控制单元420(420a到420d)。控制单元420d的相位检测器424d获取电流互感器160d检测的逆变器314d的输出电流(加热线圈电流IL4)与参考信号生成部分426输出的参考信号之间的相位差，和将它输入驱动控制部分422d中。驱动控制部分422d调整要提供给逆变器314d的选通脉冲的输出定时(相位)，以便使逆变器314d的加热线圈电流IL4的相位与参考信号生成部分426输出的参考信号的相位一致。相位控制部分334d控制可变电抗器326d，以便使逆变器314d的输出电压和输出电流(加热线圈电流IL4)的相位彼此一致，从而提高逆变器314d的功率因数。其它控制单元420a到420c中的每一个也进行相同的控制操作。
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公开(公告)号：CN101394692A
公开(公告)日：2009-03-25
申请号：CN200810169071.9
申请日：2002-06-26
Applicant: 三井造船株式会社
CPC classification number: A45D20/12 , H05B6/04 , H05B6/06 , H05B6/067 , H05B6/145 , Y10T307/25 , Y10T307/273
Abstract: 本发明的目的是防止每个加热线圈的边缘部分中的温度下降，和能消除负载状态变化造成的影响。为此，本发明提供一种感应加热方法，利用感应加热装置对被加热物体进行感应加热，该感应加热装置包括：谐振型逆变器；以及与该谐振型逆变器连接的顺序变换部或者斩波部和顺序变换部，该方法使对相互感应的各个所述加热线圈提供的各电流的频率一致，检测各加热线圈电流间的相位差，通过各所述谐振型逆变器调整对各所述加热线圈提供的电流的相位，以使所述相位差为零，同时在连接了顺序变换部的感应加热装置中通过顺序变换部、在连接了斩波部和顺序变换部的感应加热装置中通过斩波部进行对各所述加热线圈的输入功率控制，控制被加热物体的温度分布。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103262648B
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201080070499.3
申请日：2010-12-03
Applicant: 三井造船株式会社
IPC: H05B6/44
Abstract: 降低逆变换装置的开关损耗。具备靠近地配置的多个感应加热线圈（20）、与这些感应加热线圈（20）各自串联连接的电容器（40），并具有将直流电压变换为矩形波电压的多个逆变换装置（30）、以及以使流过多个感应加热线圈（20）的线圈电流的相位一致的方式进行控制的控制电路（15），该控制电路（15）以使在线圈电流过零时矩形波电压的瞬时值维持为直流电压或者其反转电压的方式对矩形波电压转变的时刻进行控制。
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公开(公告)号：CN103069921B
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201180038790.7
申请日：2011-07-28
Applicant: 三井造船株式会社
IPC: H01L21/205 , H01L21/22 , H01L21/324 , H05B6/10 , H05B6/44
CPC classification number: H05B6/06 , H01L21/67109 , H05B6/105 , H05B6/44
Abstract: 本发明提供一种半导体基板热处理装置，即使是对感受器给予水平磁束并且沿垂直方向配置多个感应加热线圈的情况，也可以抑制感应加热线圈间的相互感应的影响，可以进行良好的加热控制。提供一种该热处理装置（10），其特征在于，其对载置于水平配置的感受器（52）上的晶片（54）进行间接加热，具有配置于感受器（52）的外周侧，沿与感受器（52）的晶片（54）的载置面平行的方向形成交流磁束的感应加热线圈，所述感应加热线圈由至少一个主加热线圈（30）和与主加热线圈（30）电磁耦合的从属加热线圈（32，34）构成，主加热线圈（30）具备与从属加热线圈（32、34）电磁逆耦合的逆耦合线圈（36、38），设有使通入邻接配置的主加热线圈（30）和从属加热线圈（32，34）的电流的频率、电流波形同步并且分别地控制的电力比率的区域控制装置（22）。
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公开(公告)号：CN102812778A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201180004201.3
申请日：2011-10-20
Applicant: 三井造船株式会社
CPC classification number: H01L21/67109 , C23C16/46
Abstract: 本发明提供一种感应加热装置，即使在将磁极配置在箱室外部的情况下，也能够抑制自设置于隔壁的开口部的边缘部发热。该感应加热装置(10)具有：构成处理室的箱室(12)；磁极，其位于箱室(12)的外周，与遮挡开口部(42)的磁透过性遮挡板(46)靠近地配置，该开口部(42)设置于作为构成箱室(12)的导电性隔壁部件的外壳(26)；缠绕于所述磁极的感应加热线圈，所述感应加热装置(10)的特征在于，相对于一个所述开口部(42)，设置至少两个磁极(32、34)，使两个磁极(32、34)的极性相反。
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公开(公告)号：CN101945511B
公开(公告)日：2012-05-16
申请号：CN201010283886.7
申请日：2002-06-26
Applicant: 三井造船株式会社
CPC classification number: A45D20/12 , H05B6/04 , H05B6/06 , H05B6/067 , H05B6/145 , Y10T307/25 , Y10T307/273
Abstract: 本发明的一种感应加热方法，利用感应加热装置对被加热物体进行感应加热，该感应加热装置包括：谐振型逆变器，与接近的多个加热线圈分别对应；以及与该谐振型逆变器连接的整流器或者斩波部和整流器，该方法使对相互感应的各个所述加热线圈提供的各电流的频率一致，在检测出各加热线圈电流的相位后，求出各电流相位的平均值并将其作为参考信号，调整对各加热线圈提供的电流的相位，以使所述参考信号和各加热线圈电流的相位差为零，同时在连接了整流器的感应加热装置中通过整流器、在连接了斩波部和整流器的感应加热装置中通过斩波部进行对各所述加热线圈的输入功率控制，控制被加热物体的温度分布。
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公开(公告)号：CN101917788B
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201010260669.6
申请日：2002-06-26
Applicant: 三井造船株式会社
CPC classification number: Y02B40/126
Abstract: 本发明的感应加热装置配备有分别与多个加热线圈相对应的控制单元。控制单元的相位检测器获取电流互感器检测的逆变器的输出电流与参考信号生成部分输出的参考信号之间的相位差，和将它输入驱动控制部分中。驱动控制部分调整要提供给逆变器的选通脉冲的输出定时，以便使逆变器的加热线圈电流IL4的相位与参考信号生成部分输出的参考信号的相位一致。相位控制部分控制可变电抗器，以便使逆变器的输出电压和输出电流的相位彼此一致，从而提高逆变器的功率因数。其它控制单元中的每一个也进行相同的控制操作。
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