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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1783390A
公开(公告)日：2006-06-07
申请号：CN200510126030.8
申请日：2003-01-21
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: C25D11/02 , C25D11/005 , C25D11/32 , C25D17/005 , Y10S204/07
Abstract: 本发明涉及阳极生成装置和阳极生成方法。它将被处理基板作为阳极，向其照射光线而进行电化学处理，使得在该阳极生成装置和阳极生成方法中，可利用更小型的结构要件处理大型的被处理基板。利用多个接触部件，使接触部件与被处理基板形成电接触，或者利用接触部件的移动改变位置。被处理基板的被处理部分的每一部分的导电层分别与多个接触部件的接触部分形成连接，由此开始制造。利用该被处理基板和接触部件的组合，由切换开关实现只与一部分接触部件形成通电，或者，利用接触部件的移动，对被处理基板的一部分导电层形成向接触部件的通电，使得处理所需的电流值，获得仅与被处理部分的一部分相对应的量。
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公开(公告)号：CN1494736A
公开(公告)日：2004-05-05
申请号：CN02805687.6
申请日：2002-11-06
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/3063 , C25F3/12 , C25F7/00
CPC classification number: C25D11/02 , C25D11/005 , H01L21/3063 , H01L21/67115
Abstract: 本发明提供一种阳极氧化装置及阳极氧化方法，对被处理基板的被处理部的光照射均匀，由此在被处理基板面内能进行更均匀的阳极氧化处理。其具备：放射光的灯；设置于放射的光到达的位置上、可以保持被处理基板的被处理基板保持部；设置于放射的光到达被处理基板的途中、具有用于使光通过的开口部并具有不透过光的导体部的阴极电极；使阴极电极、上述灯或被处理基板保持部的空间位置周期振动的振动机构。维持灯、阴极电极、保持被处理基板的被处理基板保持部的这三者的大概位置关系，使其中的至少一个的空间位置周期地振动，由此，阴极电极的影子在被处理基板上随时间的推移而分散。
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公开(公告)号：CN1225011C
公开(公告)日：2005-10-26
申请号：CN02805687.6
申请日：2002-11-06
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/3063 , C25F3/12 , C25F7/00
CPC classification number: C25D11/02 , C25D11/005 , H01L21/3063 , H01L21/67115
Abstract: 本发明提供一种阳极氧化装置及阳极氧化方法，对被处理基板的被处理部的光照射均匀，由此在被处理基板面内能进行更均匀的阳极氧化处理。其具备：放射光的灯；设置于放射的光到达的位置上、可以保持被处理基板的被处理基板保持部；设置于放射的光到达被处理基板的途中、具有用于使光通过的开口部并具有不透过光的导体部的阴极电极；使阴极电极、上述灯或被处理基板保持部的空间位置周期振动的振动机构。维持灯、阴极电极、保持被处理基板的被处理基板保持部的这三者的大概位置关系，使其中的至少一个的空间位置周期地振动，由此，阴极电极的影子在被处理基板上随时间的推移而分散。
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公开(公告)号：CN1509350A
公开(公告)日：2004-06-30
申请号：CN03800238.8
申请日：2003-01-21
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: C25D17/00 , H01L21/304
CPC classification number: C25D11/02 , C25D11/005 , C25D11/32 , C25D17/005 , Y10S204/07
Abstract: 本发明涉及阳极生成装置和阳极生成方法。它将被处理基板作为阳极，向其照射光线而进行电化学处理，使得在该阳极生成装置和阳极生成方法中，可利用更小型的结构要件处理大型的被处理基板。利用多个接触部件，使接触部件与被处理基板形成电接触，或者利用接触部件的移动改变位置。被处理基板的被处理部分的每一部分的导电层分别与多个接触部件的接触部分形成连接，由此开始制造。利用该被处理基板和接触部件的组合，由切换开关实现只与一部分接触部件形成通电，或者，利用接触部件的移动，对被处理基板的一部分导电层形成向接触部件的通电，使得处理所需的电流值，获得仅与被处理部分的一部分相对应的量。
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公开(公告)号：CN1279218C
公开(公告)日：2006-10-11
申请号：CN03800238.8
申请日：2003-01-21
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: C25D17/00 , H01L21/304
CPC classification number: C25D11/02 , C25D11/005 , C25D11/32 , C25D17/005 , Y10S204/07
Abstract: 本发明涉及阳极生成装置和阳极生成方法。它将被处理基板作为阳极，向其照射光线而进行电化学处理，使得在该阳极生成装置和阳极生成方法中，可利用更小型的结构要件处理大型的被处理基板。利用多个接触部件，使接触部件与被处理基板形成电接触，或者利用接触部件的移动改变位置。被处理基板的被处理部分的每一部分的导电层分别与多个接触部件的接触部分形成连接，由此开始制造。利用该被处理基板和接触部件的组合，由切换开关实现只与一部分接触部件形成通电，或者，利用接触部件的移动，对被处理基板的一部分导电层形成向接触部件的通电，使得处理所需的电流值，获得仅与被处理部分的一部分相对应的量。
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