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公开(公告)号：CN113838737A
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN202110684809.0
申请日：2021-06-21
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明提供一种高频供电部件,其降低高频的传输路径中的热负载。该高频供电部件用于供给高频电力,其具有:内部导体,其形成中空；以及外部导体,其以包围上述内部导体的方式配置,在上述内部导体和上述外部导体的至少一者的壁面的内部设有制冷剂流路。
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