公开(公告)号：CN105088190A

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201510250053.3

申请日：2015-05-15

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 羽根秀臣 ,  梅原隆人 ,  笠间健宏 ,  渡部翼

IPC: C23C16/455

Abstract: 本发明提供一种成膜装置，该成膜装置包括：原料气体喷嘴，沿着该原料气体喷嘴的长度方向形成有用于喷出所述原料气体和载气的混合气体的气体喷出孔；整流板部，其沿着所述原料气体喷嘴的长度方向伸出；中央部区域，在该中央部区域，自所述真空容器内的中央部侧向所述旋转台的基板载置面侧供给分离气体；突起部，其在比所述原料气体的气体喷出孔靠所述旋转台的中心部侧的位置自所述整流板部朝向所述旋转台突出；以及排气口，其用于对所述真空容器内进行真空排气。

公开(公告)号：CN105088190B

公开(公告)日：2019-08-16

申请号：CN201510250053.3

申请日：2015-05-15

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 羽根秀臣 ,  梅原隆人 ,  笠间健宏 ,  渡部翼

IPC: C23C16/455

Abstract: 本发明提供一种成膜装置，该成膜装置包括：原料气体喷嘴，沿着该原料气体喷嘴的长度方向形成有用于喷出所述原料气体和载气的混合气体的气体喷出孔；整流板部，其沿着所述原料气体喷嘴的长度方向伸出；中央部区域，在该中央部区域，自所述真空容器内的中央部侧向所述旋转台的基板载置面侧供给分离气体；突起部，其在比所述原料气体的气体喷出孔靠所述旋转台的中心部侧的位置自所述整流板部朝向所述旋转台突出；以及排气口，其用于对所述真空容器内进行真空排气。