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公开(公告)号：CN116153751A
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202211423150.4
申请日：2022-11-15
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明提供能够防止在喷淋头电极组装体的内部发生的异常放电的喷淋头电极组装体和等离子体处理装置。提供的喷淋头电极组装体是等离子体处理装置的喷淋头电极组装体，其包括：具有多个第一气体流路的电极，其具有暴露于等离子体的正面；和背衬部件，其安装于上述电极，具有与多个上述第一气体流路连通的多个第二气体流路，多个上述第二气体流路分别是隙缝形状的长孔，相对于上述喷淋头电极组装体的中心轴上述长孔的径向的长度比上述长孔的圆周方向的长度长。
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