公开(公告)号：CN116941012A

公开(公告)日：2023-10-24

申请号：CN202280017209.1

申请日：2022-02-21

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 守屋刚 ,  茂木弘典 ,  鱼山和哉 ,  松泽贵仁 ,  片冈勇树

IPC: H01L21/02

Abstract: 在基板处理中的处理条件的探索中，收集适当的数据。一种数据收集系统，具有：具有第1处理空间的第1基板处理装置、具有第2处理空间的第2基板处理装置、和与所述第1基板处理装置及第2基板处理装置连接的数据收集装置，具有：修正量计算部，比较通过在相同的处理条件下在所述第1处理空间和第2处理空间中分别处理相同或类似形状的基板而观测到的观测数据，计算出对通过在所述第2处理空间中进行处理而观测到的观测数据进行修正的修正量；和收集部，在通过在所述第2处理空间中改变处理条件来处理基板从而探索处理条件时，基于所述修正量来对通过在所述第2处理空间中进行处理而观测到的观测数据进行修正，并收集修正后的观测数据。

公开(公告)号：CN116670597A

公开(公告)日：2023-08-29

申请号：CN202180086072.0

申请日：2021-12-14

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 守屋刚 ,  茂木弘典 ,  片冈勇树 ,  鱼山和哉 ,  松泽贵仁

IPC: G05B13/04

Abstract: 本发明的目的在于提供一种预测控制对象中处理值的变化并利用预测结果的结构。本发明的管理装置，包括：预测模型部，学习了控制对象中的时刻T时的多变量控制值与所述控制对象中的时刻T+ΔT时的多变量处理值的输入输出关系；以及优化模型部，探索将由所述预测模型部输出的时刻T+ΔT时的多变量处理值与对应的目标值之间的各差值最小化的时刻T时的多变量控制值，并利用所探索出的该多变量控制值对所述控制对象进行控制，其中，在存在来自管理所述预测模型部的代理部的请求时，所述预测模型部对以指定的控制值对所述控制对象进行控制的情况下的所述控制对象中的时刻ΔT后的多变量处理值进行预测，并输出至所述代理部。

公开(公告)号：CN101288153A

公开(公告)日：2008-10-15

申请号：CN200680038202.9

申请日：2006-10-13

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 松泽贵仁

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01L21/67294 ,  H01L21/67253

Abstract: 半导体处理装置具备检查半导体装置的测试器、显示部(25)、控制部(21)、IC标签读出器(29)及存储赋予各操作员的权限的辅助存储部(23)。控制部(21)用IC标签读出器(29)从已接近的操作员所持的IC标签中读取ID。然后，控制部(21)参照辅助存储部(23)根据所读取的ID来辨别该操作员的权限。并且，控制部(21)在辨别的权限范围内合成可输入指示以及可参照处理状况的操作画面，显示在显示部(25)中。当操作员从装置离开而不能读取ID时，控制部(21)启动屏幕保护来隐藏显示。