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公开(公告)号：CN1433566A
公开(公告)日：2003-07-30
申请号：CN00818767.3
申请日：2000-12-14
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/3065
CPC classification number: H01L21/67253 , H01J37/32449 , H01J37/32935 , H01J37/3299
Abstract: 利用压力检测范围不同的第一和第二压力传感器132，134检测蚀刻装置100的处理室102内的压力。压力控制器144从第一及第二压力传感器132，134的各压力数据根据处理室102内的压力选择最佳压力数据。进而，对应处理室102内的压力利用所选择的分辨率分解所选择的压力数据，求出规定的数据密度的压力数据。压力控制器144以使该压力数据跟随设定压力数据的方式控制压力调整阀130。
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