公开(公告)号：CN117461040A

公开(公告)日：2024-01-26

申请号：CN202280041250.2

申请日：2022-03-23

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 筒井拓郎 ,  片冈勇树 ,  齐藤友贵哉 ,  凌元杰

IPC: G06N20/00

Abstract: 降低学习作业所花费的作业负荷。基板处理装置，具有：储备池特征量生成部，输入取得的时间序列的第1传感器数据并输出储备池特征量；学习部，在学习期间，学习权重参数，以使通过基于所述权重参数运算储备池特征量而得到的预测结果数据与取得的所述时间序列的第2传感器数据相关；预测部，在预测期间，基于学习的权重参数，对通过输入所述时间序列的第1传感器数据而由所述储备池特征量生成部输出的储备池特征量进行运算，并输出预测结果数据；以及判定部，在所述预测期间，通过比较所述预测结果数据和取得的所述时间序列的第2传感器数据，来判定基板制造工艺的状态。

公开(公告)号：CN119604868A

公开(公告)日：2025-03-11

申请号：CN202380054604.1

申请日：2023-04-04

Applicant: 东京毅力科创株式会社 ,  国立大学法人北海道大学

Inventor： 齐藤友贵哉 ,  筒井拓郎 ,  凌元杰 ,  浅井哲也 ,  阿部佑纪 ,  吉田广世

IPC: G06N3/044 ,  G06N3/063

Abstract: 使基于时间序列的传感器数据预测过程状态时的预测精度提高。一种储备池装置，其中，输入预先确定的过程中测定的时间序列的传感器数据，基于使用输入权重乘法部和连接权重乘法部进行处理而得到的结果，输出储备池特征量，所述输入权重乘法部将由周期函数决定的值作为输入权重，对输入的所述传感器数据进行加权，所述连接权重乘法部将由周期函数决定的值作为节点间的连接权重，将表示各节点的状态的数据加权相加。