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公开(公告)号：CN117561589A
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202280043218.8
申请日：2022-06-20
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/3065
Abstract: 一种耗材，其由石英和陶瓷中的任一材料形成，用于等离子体处理装置，上述耗材具有：由第一纯度的上述材料形成的芯部；和保护部，其设置在上述芯部的周围的、会因上述等离子体处理装置中的等离子体发生损耗的部分，由比上述第一纯度高的第二纯度的上述材料形成。
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