公开(公告)号：CN109790312B

公开(公告)日：2021-11-23

申请号：CN201780059252.3

申请日：2017-09-26

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 太宰尚宏 ,  山野仁诗 ,  川上晃也 ,  宫城贤

IPC: C08J7/00 ,  B05D3/00 ,  B05D5/00 ,  C09D153/00

Abstract: 一种包含相分离结构的结构体的制造方法，其具有：使用含有嵌段共聚物和离子液体的相分离结构形成用树脂组合物在基板(1)上形成包含嵌段共聚物的层(BCP层)(3)的工序，其中，所述离子液体包含具有阳离子部和阴离子部的化合物(IL)；和使化合物(IL)的至少一部分气化、并且使BCP层(3)发生相分离而得到包含相分离结构的结构体(3’)的工序。

公开(公告)号：CN109790312A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201780059252.3

申请日：2017-09-26

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 太宰尚宏 ,  山野仁诗 ,  川上晃也 ,  宫城贤

IPC: C08J7/00 ,  B05D3/00 ,  B05D5/00 ,  C09D153/00

Abstract: 一种包含相分离结构的结构体的制造方法，其具有：使用含有嵌段共聚物和离子液体的相分离结构形成用树脂组合物在基板(1)上形成包含嵌段共聚物的层(BCP层)(3)的工序，其中，所述离子液体包含具有阳离子部和阴离子部的化合物(IL)；和使化合物(IL)的至少一部分气化、并且使BCP层(3)发生相分离而得到包含相分离结构的结构体(3’)的工序。

公开(公告)号：CN114245923A

公开(公告)日：2022-03-25

申请号：CN202080055346.5

申请日：2020-08-14

Applicant: 东京应化工业株式会社

Inventor： 山野仁诗 ,  江口辽平 ,  佐藤真 ,  清水宏明

IPC: G16C60/00 ,  G03F7/26

Abstract: 信息处理系统，其具备：存储部，其存储将表示组合物的材料的材料信息、使用所述组合物的规定工艺中的工艺条件与通过所述工艺得到的组合物的性能信息赋予关联的对应信息；性能推定部，其基于输入的所述材料信息、所述工艺条件和所述对应信息，取得所述性能信息；以及输出部，其输出所述性能信息。