公开(公告)号：CN101283004A

公开(公告)日：2008-10-08

申请号：CN200680037184.2

申请日：2006-10-05

Applicant: 东亚合成株式会社

Inventor： 长谷川三高 ,  小岛慎司

IPC: C08F20/20 ,  C08F2/46

CPC classification number: C08F2/50 ,  C08F222/1006

Abstract: 本发明提供一种活性能量线固化性组合物，所述活性能量线固化性组合物在用作活性能量线固化性图案形成用组合物时，曝光灵敏度高，显影性良好，可以形成精密、准确的图案，并且在固化后，涂膜强度、耐热性及耐药品性等各种物性优异。该组合物含有化合物(a)和化合物(b)作为必须成分，其中，所述化合物(a)是在具有3个以上(甲基)丙烯酰基和羟基的化合物上加成酸酐而成的；所述化合物(b)是在上述(a)成分的至少1个(甲基)丙烯酰基上迈克尔加成具有3个以上(甲基)丙烯酰基和羟基的化合物的羟基而成的。

公开(公告)号：CN101283004B

公开(公告)日：2010-10-20

申请号：CN200680037184.2

申请日：2006-10-05

Applicant: 东亚合成株式会社

Inventor： 长谷川三高 ,  小岛慎司

IPC: C08F20/20 ,  C08F2/46

CPC classification number: C08F2/50 ,  C08F222/1006

Abstract: 本发明提供一种活性能量线固化性组合物，所述活性能量线固化性组合物在用作活性能量线固化性图案形成用组合物时，曝光灵敏度高，显影性良好，可以形成精密、准确的图案，并且在固化后，涂膜强度、耐热性及耐药品性等各种物性优异。该组合物含有化合物(a)和化合物(b)作为必须成分，其中，所述化合物(a)是在具有3个以上(甲基)丙烯酰基和羟基的化合物上加成酸酐而成的；所述化合物(b)是在上述(a)成分的至少1个(甲基)丙烯酰基上迈克尔加成具有3个以上(甲基)丙烯酰基和羟基的化合物的羟基而成的。

公开(公告)号：CN101283005A

公开(公告)日：2008-10-08

申请号：CN200680037095.8

申请日：2006-10-05

Applicant: 东亚合成株式会社

Inventor： 长谷川三高 ,  谷内健太郎

IPC: C08F20/26 ,  C08F290/06 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027

CPC classification number: C08F290/06 ,  C08F8/12 ,  C08F222/1006 ,  G03F7/027

Abstract: 本发明提供一种活性能量线固化性组合物或图案形成方法，所述活性能量线固化性组合物在用作活性能量线固化性图案形成用组合物时，曝光灵敏度高、显影性良好，可以形成精密、准确的图案，并且在固化后，涂膜强度、耐热性及耐药品性等各种物性优异。该组合物是含有化合物(a)和酸酐或/及酸酐的水解物(b)作为必须成分的组合物，所述化合物(a)是在具有3个以上(甲基)丙烯酰基和羟基的化合物上加成酸酐而成的，相对于(a)成分100质量份，以0.1～20质量份的比例含有(b)成分。该方法包含：在将上述组合物涂敷于基板而形成涂膜后，从其上隔着具有特定的图案形状的掩膜照射活性能量线而使其固化，利用显影液将未固化部分进行显影。