感光性陶瓷坯板、其制造方法和用途以及陶瓷组件

    公开(公告)号:CN1250478C

    公开(公告)日:2006-04-12

    申请号:CN96196292.5

    申请日:1996-06-17

    Abstract: 本发明涉及感光性陶瓷坯板、感光性陶瓷坯板的制造方法及用途以及陶瓷组件。本发明的感光性陶瓷坯板包含无机粉末和感光性有机成分,其中所述无机粉末的平均折射率为1.5-1.8,并且是选自氧化铝、氧化锆、氧化镁、氧化铍、莫来石、堇青石、尖晶石、镁橄榄石、钙长石、钡长石、二氧化硅和氮化铝中的至少一种,该感光性陶瓷坯板的有机成分的平均折射率N1和无机粉末的平均折射率N2满足下面的关系式:-0.05≤N2-N1≤0.1。本发明的感光性陶瓷坯板,可以用于高密度安装半导体元件用的陶瓷烧成基板,特别是多层陶瓷烧成基板,是可以形成基板表面的表层和内层用电极的微细电路图案的有效地感光性陶瓷坯板。

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