公开(公告)号：CN101010637B

公开(公告)日：2010-07-28

申请号：CN200580029284.6

申请日：2005-08-26

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 内田哲夫 ,  辻喜亨 ,  井口雄一朗 ,  岩岛实

IPC: G03F7/20 ,  H01J11/02 ,  H01J9/02 ,  H01J9/24

CPC classification number: G03F7/2022 ,  G03F7/70425 ,  G03F7/70466 ,  G03F7/7065 ,  G03F7/70791 ,  H01J9/242 ,  H01J11/12 ,  H01J11/36

Abstract: 本发明提供一种等离子体显示器用部件的制造方法，即使在光掩模上附着有异物或者有伤痕时，也可以抑制在曝光、显影后所得到的图案的断线或短路等缺陷的产生、并且可以提高成品率。本发明还提供一种显示器用部件的曝光方法，是借助于具有期望图案的光掩模、对在基板上形成了感光层的显示器用部件进行曝光动作的显示器用部件的曝光方法，其特征在于，在曝光动作中使光掩模与基板相对移动。

公开(公告)号：CN101010637A

公开(公告)日：2007-08-01

申请号：CN200580029284.6

申请日：2005-08-26

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 内田哲夫 ,  辻喜亨 ,  井口雄一朗 ,  岩岛实

IPC: G03F7/20 ,  H01J11/02 ,  H01J9/02 ,  H01J9/24

CPC classification number: G03F7/2022 ,  G03F7/70425 ,  G03F7/70466 ,  G03F7/7065 ,  G03F7/70791 ,  H01J9/242 ,  H01J11/12 ,  H01J11/36

Abstract: 本发明提供一种等离子体显示器用部件的制造方法，即使在光掩模上附着有异物或者有伤痕时，也可以抑制在曝光、显影后所得到的图案的断线或短路等缺陷的产生、并且可以提高成品率。本发明还提供一种显示器用部件的曝光方法，是借助于具有期望图案的光掩模、对在基板上形成了感光层的显示器用部件进行曝光动作的显示器用部件的曝光方法，其特征在于，在曝光动作中使光掩模与基板相对移动。