公开(公告)号：CN102292675B

公开(公告)日：2012-08-22

申请号：CN201080005046.2

申请日：2010-12-07

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 宫部伦次 ,  藤田阳二

IPC: G03F7/023 ,  C08G73/10 ,  C08G73/22 ,  G03F7/075 ,  H01L21/027

CPC classification number: C08L79/08 ,  C08G73/10 ,  C08K5/29 ,  C08K5/5425 ,  C08K5/5435 ,  C08L63/00 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/0751

Abstract: 本发明提供一种正型感光性树脂组合物，所述正型感光性树脂组合物的保存稳定性、特别是灵敏度稳定性优异，能够得到在350℃以上的高温加热处理后、或在空气中的加热处理后与基板的密合性优异的固化膜。所述正型感光性树脂组合物含有：(a)以选自聚酰亚胺前体结构、聚苯并噁唑前体结构、及聚酰亚胺结构中的至少一种结构作为主成分的聚合物；(b)醌二叠氮化合物；(c)具有苯乙烯基的硅烷偶联剂；(d)具有烷氧基甲硅烷基和选自环氧基、氧杂环丁基、甲基丙烯酰氧基、丙烯酰氧基、氨基、酰胺基、巯基中的基团的硅烷偶联剂及(e)溶剂。

公开(公告)号：CN102292675A

公开(公告)日：2011-12-21

申请号：CN201080005046.2

申请日：2010-12-07

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 宫部伦次 ,  藤田阳二

IPC: G03F7/023 ,  C08G73/10 ,  C08G73/22 ,  G03F7/075 ,  H01L21/027

CPC classification number: C08L79/08 ,  C08G73/10 ,  C08K5/29 ,  C08K5/5425 ,  C08K5/5435 ,  C08L63/00 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/0751

Abstract: 本发明提供一种正型感光性树脂组合物，所述正型感光性树脂组合物的保存稳定性、特别是灵敏度稳定性优异，能够得到在350℃以上的高温加热处理后、或在空气中的加热处理后与基板的密合性优异的固化膜。所述正型感光性树脂组合物含有：(a)以选自聚酰亚胺前体结构、聚苯并噁唑前体结构、及聚酰亚胺结构中的至少一种结构作为主成分的聚合物；(b)醌二叠氮化合物；(c)具有苯乙烯基的硅烷偶联剂；(d)具有烷氧基甲硅烷基和选自环氧基、氧杂环丁基、甲基丙烯酰氧基、丙烯酰氧基、氨基、酰胺基、巯基中的基团的硅烷偶联剂及(e)溶剂。