公开(公告)号：CN103648718A

公开(公告)日：2014-03-19

申请号：CN201280034917.2

申请日：2012-07-12

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 竹内奈奈 ,  福田诚司 ,  奧田良治

IPC: B24B37/26 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B37/26 ,  B24B37/16 ,  B24D11/00

Abstract: 一种研磨垫，是至少具有研磨层的研磨垫，其特征在于，上述研磨层在研磨面具备槽，该槽具有侧面，上述侧面的至少一方由第一侧面和第二侧面构成，第一侧面从上述研磨面连续，且与上述研磨面所成的角度为α，第二侧面从该第一侧面连续，且与平行于上述研磨面的面所成的角度为β，与上述研磨面所成的角度α大于95度，与平行于上述研磨面的面所成的角度β大于95度，并且与平行于上述研磨面的面所成的角度β比与上述研磨面所成的角度α更小，从上述研磨面到上述第一侧面与上述第二侧面的曲折点为止的曲折点深度大于0.2mm且为3.0mm以下。

公开(公告)号：CN103648717A

公开(公告)日：2014-03-19

申请号：CN201280034910.0

申请日：2012-07-12

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 竹内奈奈 ,  福田诚司 ,  奧田良治 ,  笠井重孝

IPC: B24B37/26 ,  B24B37/22 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B37/26 ,  B24B37/22

Abstract: 一种研磨垫，是至少具有研磨层和缓冲层的研磨垫，其特征在于，上述研磨层在研磨面具备槽，该槽具有侧面和底面，上述侧面的至少一方由第一侧面和第二侧面构成，第一侧面与上述研磨面连续，且与上述研磨面所成的角度为α，第二侧面与该第一侧面连续，且与平行于上述研磨面的面所成的角度为β，与上述研磨面所成的角度α大于90度，与平行于上述研磨面的面所成的角度β为85度以上，并且与平行于上述研磨面的面所成的角度β比与上述研磨面所成的角度α更小，从上述研磨面到上述第一侧面与上述第二侧面的曲折点为止的曲折点深度为0.4mm以上、3.0mm以下，上述缓冲层的应变常数为7.3×10-6μm/Pa以上、4.4×10-4μm/Pa以下。