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公开(公告)号:CN119948407A
公开(公告)日:2025-05-06
申请号:CN202380068643.7
申请日:2023-08-23
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 提供能够形成高纵横比的图案的树脂组合物。一种树脂组合物,其包含(A)树脂、(B)氧杂环丁烷化合物、和光致阳离子聚合引发剂,(A)树脂包含具有碱可溶性基团的树脂,(B)氧杂环丁烷化合物包含(B‑1)具有4个以上的氧杂环丁烷基的化合物。
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公开(公告)号:CN119948407A
公开(公告)日:2025-05-06
申请号:CN202380068643.7
申请日:2023-08-23
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 提供能够形成高纵横比的图案的树脂组合物。一种树脂组合物,其包含(A)树脂、(B)氧杂环丁烷化合物、和光致阳离子聚合引发剂,(A)树脂包含具有碱可溶性基团的树脂,(B)氧杂环丁烷化合物包含(B‑1)具有4个以上的氧杂环丁烷基的化合物。