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公开(公告)号：CN118451318A
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202280085018.9
申请日：2022-10-31
IPC: G01N21/956
Abstract: 即使在晶片的外周部，也能够可靠地检测想要检测的缺陷，防止疑似缺陷的检测。具体地说，提供对晶片上存在的缺陷进行检查的晶片外观检查装置，该晶片外观检查装置具有检查部，该检查部根据对晶片的外观进行拍摄而得到的外观图像对设定在该晶片上的检查区域进行检查，检查部具有：外缘位置检测部，其对外观图像中包含的晶片的外缘部的位置进行检测；近似线生成部，其在外观图像中，对外缘部进行近似线的拟合处理，在沿着该外缘部的位置生成第一近似线，在相对于第一近似线向晶片的内侧偏移规定尺寸的位置生成第二近似线；外周检查区域设定部，其在外观图像中，将由第一近似线和第二近似线形成的区域设定为外周检查区域；和外周检查部，其对外周检查区域进行检查。
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