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1.

外观设计
基板载置台失效

公开(公告)号：CN302863840S

公开(公告)日：2014-07-02

申请号：CN201430013653.4

申请日：2014-01-17

Applicant: 东丽工程株式会社

Designer： 竹岛诚 , 高桥朋也

Abstract: 1．本外观设计产品的名称：基板载置台。2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于装载和放置基板（半导体晶片），上有沟槽用于吸住所述基板；当基板（半导体晶片）处于载置状态并覆盖所述沟槽时，可通过空气管将沟槽中的空气吸出，利用沟槽内部的负压来吸住基板（半导体晶片）。本产品是透明的。3．本外观设计产品的设计要点：主视图。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：主视图。

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