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发明公开
膜厚不匀检测装置和方法、带有该检测装置的涂布装置无效

公开(公告)号：CN103226105A

公开(公告)日：2013-07-31

申请号：CN201310023443.8

申请日：2013-01-22

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 西村幸治 , 平田肇 , 森诚树

IPC: G01N21/88 , B05C11/00

Abstract: 本发明提供膜厚不匀检测装置和方法、带有该检测装置的涂布装置，即使对伴随微小膜厚不匀的纵筋或横段，能够在刚涂布完后可靠地发现膜厚不匀，该膜厚不匀检测装置包括：照射部，向基板上的涂布膜照射特定照射图案的光；光接收部，接收从涂布膜表面反射的反射光；判断部，对由光接收部接收的光图案和特定的照射图案进行比较，由此判断涂布膜的形成状态是否良好；其中，判断部包括：图像比较部，比较接收光图案和照射图案；偏差提取图像生成部，用图像比较部比较接收光图案和照射图案以提取偏差；累加计算部，从偏差提取的图像累加计算散布的偏差提取图像的面积；累加计算偏差面积判断部，判断累加计算的偏差提取面积累加计算值是否比判断基准值大。

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