公开(公告)号：CN114054290A

公开(公告)日：2022-02-18

申请号：CN202110862389.0

申请日：2021-07-29

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 福岛雄悟 ,  釜谷学

IPC: B05C5/02 ,  B05C13/02

Abstract: [课题]提供一种涂布装置，其能够通过1次扫描形成涂布膜，能够抑制在涂布膜形成接缝不均。[解决手段]一种涂布装置，其使由载台单元保持的基板与涂布单元相对移动，同时从涂布单元排出涂布液，由此在基板上形成涂布膜，其中，载台单元具有使基板浮起到规定高度位置的浮起载台部、和吸附保持基板的吸附保持部，其形成为在利用吸附保持部保持浮起在浮起载台部上的基板的状态下，移动到搬入搬出基板的基板更换位置和在基板上涂布涂布液的涂布位置，吸附保持部为下述构成，其具备在与浮起载台部的移动方向正交的方向位置处吸附保持基板的第1吸附保持部、和在浮起载台部的移动方向位置处吸附保持基板的第2吸附保持部。

公开(公告)号：CN101718955B

公开(公告)日：2013-01-02

申请号：CN200910178719.3

申请日：2009-09-28

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 中泽源伸 ,  福岛雄悟 ,  釜谷学 ,  伊藤祯彦

IPC: G03F7/16 ,  H01L21/677

Abstract: 本发明提供一种基板处理系统(1)，其容易对联合涂敷装置(3)与搬出装置(5)的动作时机进行控制，并能够缩短时间。具有：涂敷装置(3)，其具有为了交接涂敷了涂敷液的基板(W)而在载置该基板(W)的状态下上下动作的销(14)；搬出装置(5)，其具有为了搬出所述基板(W)而相对于涂敷装置(3)进行接近远离移动的手部(31)。涂敷装置(3)与搬出装置(5)之间由通信线(L5)进行信号的发送接收。基于通过通信线(L5)在涂敷装置(3)与搬出装置(5)之间发送的信号，通过在用于交接基板(W)的销(14)的动作结束前使手部(31)开始移动，而使销(14)的动作与手部(31)的移动并行。

公开(公告)号：CN113365741A

公开(公告)日：2021-09-07

申请号：CN201980090462.8

申请日：2019-02-25

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 福岛雄悟 ,  森俊裕

IPC: B05C5/00 ,  B05C13/00 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07 ,  H01L21/683

Abstract: 提供涂布装置，能够抑制基板带电。涂布装置具有：工作台单元，其对基板进行保持；以及涂布单元，其对所述工作台单元上的基板涂布涂布液，一边使所述涂布单元和保持于所述工作台单元的基板相对地移动，一边从所述涂布单元喷出涂布液，从而在基板上形成涂布膜，其中，该涂布装置构成为，所述工作台单元具有使基板浮起的浮起工作台部和对基板进行吸引保持的吸引保持部，在利用所述吸引保持部对在所述浮起工作台部上浮起的基板进行保持的状态下，所述浮起工作台部和所述吸引保持部一体地相对于所述涂布单元向搬入搬出基板的基板更换位置和在基板上涂布涂布液的涂布位置移动。

公开(公告)号：CN106166896A

公开(公告)日：2016-11-30

申请号：CN201610301189.7

申请日：2016-05-09

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 木浦敦之 ,  浅井一夫 ,  福岛雄悟

IPC: B41J2/165

CPC classification number: B41J2/165 ,  B41J2/16517

Abstract: 提供墨水防干燥装置，即使溶剂等的蒸发随着时间而推进也能够防止喷嘴内的墨水的干燥。墨水防干燥装置防止涂布喷头的墨水的干燥，该涂布喷头具有多个喷出墨水的喷嘴，该墨水防干燥装置具有：冲洗托盘，其形成有存留墨水的溶剂的溶剂存留部；以及多孔质部件，其以浸渍在冲洗托盘的溶剂存留部中的状态配置，并使墨水的溶剂包含在该多孔质部件中，多孔质部件具有与喷嘴相对的喷嘴相对面，多孔质部件的高度被设定为：在涂布喷头位于所述冲洗托盘上的状态下，喷嘴的前端位于在喷嘴相对面与喷嘴的前端之间所形成的适于防止墨水干燥的溶剂气氛内。

公开(公告)号：CN101718955A

公开(公告)日：2010-06-02

申请号：CN200910178719.3

申请日：2009-09-28

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 中泽源伸 ,  福岛雄悟 ,  釜谷学 ,  伊藤祯彦

IPC: G03F7/16 ,  H01L21/677

Abstract: 本发明提供一种基板处理系统(1)，其容易对联合涂敷装置(3)与搬出装置(5)的动作时机进行控制，并能够缩短时间。具有：涂敷装置(3)，其具有为了交接涂敷了涂敷液的基板(W)而在载置该基板(W)的状态下上下动作的销(14)；搬出装置(5)，其具有为了搬出所述基板(W)而相对于涂敷装置(3)进行接近远离移动的手部(31)。涂敷装置(3)与搬出装置(5)之间由通信线(L5)进行信号的发送接收。基于通过通信线(L5)在涂敷装置(3)与搬出装置(5)之间发送的信号，通过在用于交接基板(W)的销(14)的动作结束前使手部(31)开始移动，而使销(14)的动作与手部(31)的移动并行。