公开(公告)号：CN101562123A

公开(公告)日：2009-10-21

申请号：CN200810144454.0

申请日：2008-07-31

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 谷川央树 ,  尾崎充佳 ,  森诚树

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/677 ,  B65G49/06 ,  B65G51/03

Abstract: 本发明提供一种板状部件的输送装置及板状部件的输送方法，其在输送路径的中途，可以高精度地对板状部件进行要求表面平坦度的处理。输送装置(10)具有：飘浮单元(20)，其沿玻璃基板(11)的输送方向排列多个使玻璃基板(11)飘浮的飘浮部件(21)；输送单元(30)，其在玻璃基板(11)利用飘浮单元(20)从飘浮部件(21)飘浮的状态下，保持玻璃基板(11)，同时沿输送方向向下游侧输送玻璃基板(11)；以及处理部(40)，其在输送单元(30)中的输送路径的中途，对玻璃基板(11)进行曝光处理。在与处理部(40)相对应的区域内，设置作为表面平坦度提高单元的横置飘浮部件(43)。

公开(公告)号：CN101562123B

公开(公告)日：2012-02-29

申请号：CN200810144454.0

申请日：2008-07-31

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 谷川央树 ,  尾崎充佳 ,  森诚树

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/677 ,  B65G49/06 ,  B65G51/03

Abstract: 本发明提供一种板状部件的输送装置及板状部件的输送方法，其在输送路径的中途，可以高精度地对板状部件进行要求表面平坦度的处理。输送装置，具有：飘浮单元，其具有通过从多个喷射口向上方喷射气体而使板状部件飘浮的飘浮部件；以及输送单元，其在前述板状部件利用前述飘浮单元从前述飘浮部件飘浮的状态下，保持前述板状部件，同时沿输送方向，向下游侧输送前述板状部件，其特征在于，前述输送单元具有吸附垫，其可以沿前述输送方向移动，同时可以以沿前述板状部件的厚度方向的线为中心旋转，前述吸附垫吸附在前述板状部件的平面中央部。