公开(公告)号：CN114630925B

公开(公告)日：2024-03-08

申请号：CN202080075134.3

申请日：2020-09-04

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 恩地卓也 ,  小森常范

IPC: C23C16/54 ,  B65H18/08 ,  B65H37/04 ,  B65H41/00 ,  C23C14/56 ,  C23C14/58 ,  C23C16/56

公开(公告)号：CN114630925A

公开(公告)日：2022-06-14

申请号：CN202080075134.3

申请日：2020-09-04

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 恩地卓也 ,  小森常范

IPC: C23C16/54 ,  B65H18/08 ,  B65H37/04 ,  B65H41/00 ,  C23C14/56 ,  C23C14/58 ,  C23C16/56

Abstract: 本发明提供一种成膜装置，其能够不降低功能膜的性能而在基材上形成功能膜。具体而言，该成膜装置具备：成膜室(7)，其在以卷对卷方式输送的基材(2)的膜形成面侧形成薄膜；引导部件(8)，其通过与基材(2)的膜形成面侧或其相反侧接触而引导基材(2)的输送方向，从而形成基材(2)的输送路径；保护部件贴合部(9a)，其位于基材(2)的输送路径中的成膜室(7)的下游侧且设置于最先与基材(2)的膜形成面侧接触的引导部件(8)与成膜室(7)之间，将具有挠性的保护部件(B)贴合在基材(2)的膜形成面侧。