公开(公告)号：CN119522140A

公开(公告)日：2025-02-25

申请号：CN202380052704.0

申请日：2023-05-16

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 三好贵之 ,  筏敏晃 ,  伊藤俊文

IPC: B05C9/12 ,  B05C5/02

Abstract: 提供一种能够抑制所形成的涂布膜的结晶状态变得不均匀的情况的涂布装置。具体而言，一种涂布装置，其具有：载置基板的载台；涂布器，其一边相对于载置于所述载台的基板相对地移动，一边从喷嘴喷出涂布液而在基板上形成涂布膜；以及干燥器，其使基板上的涂布膜干燥，根据基板上的涂布膜的干燥分布信息，对应于涂布膜的部位来调节所述干燥器的促进干燥的干燥促进力。

公开(公告)号：CN119586357A

公开(公告)日：2025-03-07

申请号：CN202380053955.0

申请日：2023-07-06

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 三好贵之 ,  伊藤俊文 ,  筏敏晃

IPC: H10K30/50 ,  H10K30/40 ,  H10K71/70 ,  H10K85/50

Abstract: 能够提供钙钛矿膜形成方法和钙钛矿膜形成装置，它们能够获得具有稳定发电效率的钙钛矿型太阳能电池。具体而言，具有：膜形成工序，在基板上形成钙钛矿膜；结晶状态确认工序，通过测定来确认基板上的钙钛矿膜的结晶状态；以及条件调节工序，基于结晶状态确认工序中的测定结果，调节下次以后的对基板的膜形成工序中的实施条件，在结晶状态确认工序中，遍及基板上的钙钛矿膜的整体设置多点测定位置，在各测定位置取得数值数据，由此取得钙钛矿膜整体中的结晶状态的数值数据分布。